Каталог / Фізико-математичні науки / фізика
скачать файл: 
- Назва:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур
- ВНЗ:
- ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук
- Короткий опис:
- Дворецкая Лилия Николаевна. Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур;[Место защиты: ФГБУН Институт аналитического приборостроения Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб