Электролюминесценция и проводимость слоев двуокиси кремния на кремнии в сильных электрических полях Кручинин, Андрей Александрович

Короткий опис

Кручинин, Андрей Александрович.
Электролюминесценция и проводимость слоев двуокиси кремния на кремнии в сильных электрических полях : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Ленинград, 1984. - 158 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Кручинин, Андрей Александрович
Введение.стр.
ГЛАВА I. Инжекция электронов в 3±02 и их перенос в сильном электрическом поле.
§ I. Проводимость системы БЛ-Б:Ш2 -металл в сильных электрических полях. . . . . ♦
§ 2. Особенности электролитического контакта.
§ 3. Методика эксперимента.
§ Особенности проводимости системы БЛ~Б102-. электролит в сильных электрических полях.
§ 5. Ударная ионизация в структурах БЛ-Б:Ю2#
ГЛАВА II. электролюминесценция в структурах БЛ-БЮ2.
Механизмы возбуждения.
§ Г. Люминесцентные методы исследования структур Б1-Б:Ю
§ 2. Методика определения спектрального состава электролюминесценции системы Б1-БЮ
-электролит. . . г.
§ 3. Влияние интерферениции на спектр люминес-т ценции тонких диэлектрических слоев.50.
§ 4-, Механизмы возбуждения электролюминесценции
В системе бл-б±о2 ^-электролит.
§ 5. Взаимосвязь между механизмом возбуждения электролюминесценции и особенностями проводимости диэлектрика. . . . . . !.
ГЛАВА III'. Электролюминесценция в структурах Бз.-Б102»
Характеристики центров свечения.
§ Г. Зависимость интенсивности спектральных полос электролюминесценции от способа формирования структур Б1-Б±о
§ 2'. Характеристики центров люминесценции в полосе 1,9 эВ.
§ Ъ Характеристики центров свечения в полосе 2,2 эВ.
§ Характеристики центров люминесценции в полосе 2,7 эВ.
§ 5;# Использование электролюминесценции для изучения процессов термического и анодного окисления кремния. Ю
ГЛАВА 1У. Использование электролюминесценции для изучения изменений свойств структур 31-3:102 в сильных электрических полях.
§ 1« Основные результаты исследования полевой деградации структур зз.~зю2 (по литературным данным).
§ 2. Изменение зарядового состояния структур
Б1-з±о2 б сильных электрических полях.
§ 3. Изменение проводимости и спектра электролюминесценции структур з±-зю2 в сильных электрических полях. . о.