Эволюция реальной структуры кристаллов карбида кремния в процессах роста, пластической деформации и фазовых превращений Бритун, Виктор Федорович

Короткий опис

Бритун, Виктор Федорович.Эволюция реальной структуры кристаллов карбида кремния в процессах роста, пластической деформации и фазовых превращений : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Киев, 1985. - 229 с. : ил.

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Бритун, Виктор Федорович
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Структура карбида кремния
1.2. Структурные исследования карбида кремния
1.2.1. Методы исследований
1.2.2. Ростовые дефекты
1.2.3. Структурные особенности фазовых превращений в карбиде кремния .••••«.
1.2.4. Пластическая деформация в
1.3. Постановка задачи
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИХ
ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1. Препарирование образцов керамических материалов для исследования методами просвечивающей электронной микроскопии
2.2. Методики исследования структурных дефектов
ГЛАВА 3. ЭЛЕКТРОННО-МИКРОСКОПИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ РОСТОВЫХ ДЕФЕКТОВ В З/С
3.1. Дефекты в эпитаксиальных монокристаллических слоях , выращенных из паровой фазы
3.1.1. Дефекты на границе подложка - эпитаксиальный слой
3.1.2. Дефекты в объеме эпитаксиальных слоев
3.1.3. Особенности распределения дефектов в эпитаксиальных слоях З/С . ЮО
3.2, Особенности реальной структуры монокристаллов, выращенных методами Лели и разложением метилтрихлорсилана
3.3. Выводы к главе 3.
ГЛАВА ИЗМЕНЕНИЯ РЕАЛЬНОЙ СТРУКТУРЫ
КРИСТАЛЛОВ ПРИ ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЯХ
4.1. Твердотельный фазовый переход
ЗС - 6Н S¡С
4.2. Фазовое превращение 6Н - ЗС S¡C
4.3. Фазовое превращение в ZnS
4.3.1. Исследование структуры кристаллов ZnS » выращенных из расплава и паровой фазы
4.3.2. Перестройка реальной структуры кристаллов природного ZnS при твердотельном фазовом превращении
4.4. Механизмы фазовых превращений
4.5. Выводы к главе
ГЛАВА 5. ДИСЛОКАЦИОННАЯ СТРУКТУРА КРИСТАЛЛОВ
S¡C И т ПОСЛЕ ПЛАСТИЧЕСКОЙ
ДЕФОРМАЦИИ
5.1. Высокотемпературная пластическая деформация 8¡C
5.2. Проявление микропластичности в d SfC
И. if вблизи концентраторов напряжений
5.3. Движение дислокаций в S/C , активируемое электронным облучением
5.3.1. Атермический характер процесса
5.3.2. Особенности движения дислокаций
5.4. Структурные изменения в AQM при трении
5.5. Выводы к главе
ВЫВОДЫ