Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Феклисова, Ольга Владимировна. Взаимодействие точечных и протяженных дефектов в кремнии при низкотемпературных обработках
- ВНЗ:
- Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
- Короткий опис:
- Феклисова, Ольга Владимировна. Взаимодействие точечных и протяженных дефектов в кремнии при низкотемпературных обработках : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.- Черноголовка, 1998.- 20 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-6/3393-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб