Формирование нанокластеров германия в плёнках GeSixOy Чжан Фань

Короткий опис

Чжан Фань.
Формирование нанокластеров германия в плёнках GeSixOy : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Чжан Фань (Zhang Fan); [Место защиты: ФГАОУ ВО «Новосибирский национальный исследовательский государственный университет» ; Диссовет Совет по защите диссертаций по физическим наукам]. - Новосибирск, 2024. - 138 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Чжан Фань
ГЛАВА 1. Обзор литературы
1. 1 Применение плёнок GeOx и GeSixOy в нано- и оптоэлектронике
1.1.1 Плёнки GeOx в МДП-транзисторах на основе германия
1.1.2 Плёнки GeOx и GeSixOy в энергонезависимой памяти
1.1.3 Применение оксидов германия в энергетике
1.1.4 Оксиды германия как жертвенный слой в технологии МЭМС
1.2 Методы роста и модификации плёнок субоксидов полупроводников
1.2.1 Методы роста плёнок оксидов и субоксидов полупроводников
1.2.2 Способы формирования аморфных нанокластеров и полупроводниковых нанокристаллов в нестехиометрических оксидах полупроводников
1.2.3 Квантово-размерный эффект в нанокристаллах германия в диэлектрической среде
1.2.4 Германосиликатные плёнки с нанокластерами и нанокристаллами германия в оптоэлектронике
Заключение к главе
ГЛАВА 2. Синтез и модификация тонких плёнок и методы их экспериментальных
исследований
2.1 Рост плёнок GeOx и GeSixOy методом физического осаждения в вакууме
2.2. Отжиги плёнок: печные, электронно-пучковые и лазерные
2.3 Спектроскопия комбинационного рассеяния света
2.4 Фурье ИК-спектроскопия ^ТЖ)
2.5 Спектроскопия пропускания и отражения света
2.6 Эллипсометрия
Заключение к главе
ГЛАВА 3. Формирование аморфных нанокластеров германия в плёнках GeOx
3.1. Определение сечения поглощения ИК-излучения на валентных колебаниях Ge - О связей в плёнках GeOx
3.2. Исследование кинетики формирования аморфных нанокластеров германия и определение энергии активации реакции диспропорционирования аморфной плёнки
GeOx в процессе печных отжигов при различных температурах
Заключение к главе
ГЛАВА 4. Формирование аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в плёнках [ОеОх]у^Ю]а-у) и ^еОх]о.5^Ю2]о.5 (0.25<у<1)
4.1 Исследование исходно-осаждённых плёнок ^еОх]у^О]а-у) и ^еОх]о.5^Ю2]о.5 (0.25<у<1)
4.2 Печные отжиги плёнок ^еОх]0.5^Ю]0.5 и ^еОх]0.5^Ю2]0
4.2.1 Формирование аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в плёнках ^еОх]0.5^Ю]0.5 и ^еОх]0.5^Ю2]0.5 в процессе печных отжигов при различных температурах
4.2.2 Трансформация структуры плёнок ^еОх]0.5^Ю]0.5 и ^еОх]0.5^Ю2]0.5 из анализа спектров ИК-поглощения
Заключение к главе
ГЛАВА 5. Модификация плёнок [веОх]0.5^Ю]0.5 и ^еОх]0.5^Ю2]0.5 с применением импульсных лазерных и электронно-пучковых отжигов
5.1 Формирование аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в плёнках ^еОх]0.5^Ю]0.5 и ^еОх]0.5^Ю2]0.5 с применением импульсных лазерных отжигов
5.2 Отработка режимов электронно-пучковых отжигов для формирования аморфных нанокластеров и нанокристаллов германия в плёнках ^еОх]0.5^Ю]0.5 и
^еОх]0.5^Ю2]0
Заключение к главе
ЗАКЛЮЧЕНИЯ И ВЫВОДЫ
БЛАГОДАРНОСТИ
СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ АВТОРА ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ