Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда Матюхин, Владимир Дмитриевич

Короткий опис

Матюхин, Владимир Дмитриевич.
Исследование объемной и контрагированной форм высокочастотного емкостного разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08. - Москва, 1984. - 197 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Матюхин, Владимир Дмитриевич
Введение
Глава I. Экспериментальная установка, методики измерений
1.1. Экспериментальная установка. Типы газоразрядных систем.
1.2. Измерение электрических полей, токов и ВЧ потенциалов в плазме.
1.3. Измерение температуры в разряде.
1;4. Измерение продуктов плазмохимических реакций
Глава П. Объемный разряд при средних давлениях
2.1. Основные характеристики объемного разряда
2.2. Структура электрического поля в объемном разряде.
2.3. Влияние толщины диэлектрических покрытий на параметры разряда.
2.4. Переход объемной формы ВЧЕ разряда в состояние с пространственно-неоднородной структурой
2.5. Роль структуры электрического и теплового поля в поведении ВЧЕ разряда.
2.5.1. Модель свободной границы ВЧЕ разряда
2.5.2. Профили электрического поля в объемной форме разряда.
2.5.3. Профили температуры в объемной форме
ВЧЕ разряда. III
Глава Ш. Контрагированный разряд при средних давлениях
3.1. Контрагиро ванный разряд на молекулярных и инертных газах.
3.2. Механизм развития канала. I
3.3. Анализ нелинейных уравнений, описывающих поведение контрагированного разряда
Глава ГУ. ВЧЕ разряд как гшазшхимический реактор . . . J
4.1. Особенности плазмохимического реактора на основе ВЧЕ разряда
4.2. Реаятор с поперечным продувом контрагированного разряда.
4.3. Модель канала разряда как генератора продуктов реакции.
4.4. Реактор с продувом объемного разряда вдоль электрического поля.