Исследование состава и структурного совершенства полупроводниковых гетероэпитаксиальных систем методом электроотражения Ариас, Авила Нельсон

Короткий опис

Ариас, Авила Нельсон.
Исследование состава и структурного совершенства полупроводниковых гетероэпитаксиальных систем методом электроотражения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Киев, 1985. - 126 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Ариас, Авила Нельсон
Введение
Глава I. Электроотраление в полупроводниках
Введение
1.1 Зонная структура полупроводников
1.2 Электрооптические эффекты в полупроводниках
1.3 Модуляционные методики и использование электроотраления для определения параметров зонной структуры
1.4 Влияние структурного совершенства кристаллов на спектры электроотражения
1.5 Внутренние напряжения в гетероэпитак-сиальных системах и их влияние на энергетический спектр
1.6 Релаксация внутренних напряжений в гете-роэпитаксиальных системах о Вывода
Глава 2. Методика эксперимента и обработки результатов
Введение
2.1 Методика экспериментальных исследований спектров электроотражения и кривизны ге-теросистем
2.2 . Обработка спектров электроотражения
Выводы
Глава 3. Исследование состава, однородности и степени структурного совершенства пленок твердых растворов
Введение
3.1 Определение состава монокристаллов твердых растворов методом электроотражения
3.2 Влияние внутренних механических напряжений на спектры электроотражения гетеросис-тем
3.3 Определение состава гетероэпитаксиальных пленок и однородности его распределения
3.4 Использование электроотражения для контроля состава твердых растворов
3.5 Влияние структурного совершенства пленок на спектры электроотражения
Выводы
Глава 4. Влияние внешних воздействий на спектры электроотражения пленок
Введение
4.1 Влияние ионной импланктации и отжига на спектры электроотражения пленок
4.2 Влияние у- облучения на спектры электроотражения
Выводы III