ОСТАННІ НОВИНИ
| Бесплатное скачивание авторефератов |
| СКИДКА НА ДОСТАВКУ РАБОТ! |
| Увеличение числа диссертаций в базе |
| Снижение цен на доставку работ 2002-2008 годов |
| Доставка любых диссертаций из России и Украины |
ОСТАННІ ВІДГУКИ
Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл:
- Назва:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Кількість сторінок:
- 200
- ВНЗ:
- Ярославль
- Рік захисту:
- 2001
- Короткий опис:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Ярославль, 2001.- 159 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/162-2
- Список літератури:
- -
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб
