Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Лукичев, Владимир Федорович. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме
- ВНЗ:
- Физико-технологич. ин-т
- Короткий опис:
- Лукичев, Владимир Федорович. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Физико-технологич. ин-т.- Москва, 1997.- 25 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-2/2388-X
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб