Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения
- ВНЗ:
- НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина
- Короткий опис:
- Мануйлов, Вадим Викторович. Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / НИИ физ. проблем им. Ф. В. Лукина.- Москва, 1991.- 21 с.: ил. РГБ ОД, 9 91-5/3058-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб