Модификация свойств оксидов ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации Бурдюх Сергей Васильевич

Короткий опис

Бурдюх,СергейВасильевич.Модификациясвойствоксидовванадияметодомплазменно-иммерсионнойионнойимплантации: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 /БурдюхСергейВасильевич; [Место защиты: Петрозавод. гос. ун-т]. - Петрозаводск, 2018. - 207 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «ПЕТРОЗАВОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ» На правах рукописиБурдюхСергейВасильевичМОДИФИКАЦИЯСВОЙСТВОКСИДОВВАНАДИЯМЕТОДОМПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННОЙИОННОЙИМПЛАНТАЦИИСпециальность 01.04.04 физическая электроника

стр. 13
заключения. Работа содержит 207 страниц, 103 рисунка, 11 таблиц. Список использованной литературы включает 201 наименование. 13 1.ОКСИДЫВАНАДИЯИМЕТОДПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННОЙИОННОЙИМПЛАНТАЦИИ(ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ) 1.1Свойстваоксидовванадия1.1.1 Фазы системыванадий-кислородОксидыванадияотличаются,

стр. 72
кратковременной подачей напряжения 30 - 50 В на образец в режиме ограничения тока. 72 2.2Плазменно-иммерсионнаяионнаяимплантация2.2.1 Установка дляплазменно-иммерсионнойионнойимплантацииДля проведения экспериментов поимплантациибыла создана установкаплазменно-иммерсионнойионнойимплантации. Принципиальная

Оглавление диссертациикандидат наук Бурдюх Сергей Васильевич
ВВЕДЕНИЕ
1. ОКСИДЫ ВАНАДИЯ И МЕТОД ПЛАЗМЕННО-ИММЕРСИОННОЙ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)
1.1 Свойства оксидов ванадия
1.1.1 Фазы системы ванадий-кислород
1.1.2 Диоксид ванадия
1.1.2.1 Механизм ФПМП
1.1.2.2 Кристаллическая структура и зонная схема
1.1.2.3 Влияние гидрирования на ФПМП в VO2
1.1.2.4 Эффект переключения в МОМ структурах на основе диоксида ванадия
1.1.3 Структура и свойства ^05
1.2 Внутренний электрохромный эффект в гидратированном пентаоксиде ванадия
1.2.1 Ксерогель оксида ванадия (V): получение, структура и свойства
1.2.2 Внутренний электрохромный эффект
1.3 Плазменно-иммерсионная ионная имплантация
1.3.1 Физика ПИИИ
1.3.2 Динамика экранирующего слоя плазмы
1.3.3 Необходимые характеристики плазмы
1.3.4 Требования к рабочей камере
1.3.5 Применение ПИИИ
1.3.5.1 Снижение износа и коррозии, применение в металлургии
1.3.5.2 Биоматериалы и материалы на основе углерода
1.3.5.3 Плазменное легирование
1.3.5.4 Модификация фаз и их электрических и оптических свойств
1.3.6 Существующие примеры установок
1.4 Выводы из обзора литературы и постановка задачи
2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1 Получение образцов
2.1.1 Получение пленок диоксида ванадия методом магнетронного распыления
2.1.2 Золь-гель метод получения пленок пентаоксида ванадия
2.1.3 Получение сэндвич структур типа металл-диэлектрик-металл на основе геля пентаоксида ванадия
2.2 Плазменно-иммерсионная ионная имплантация
2.2.1 Установка для плазменно-иммерсионной ионной имплантации
2.2.2 Расчет и измерение тока на образец
2.2.3 Модификация метода ПИИИ для имплантации вольфрама в пленки оксидов ванадия
2.3 Методы исследования свойств плёнок
2.3.1 Определение толщины и оптических констант пленок ксерогеля пентаоксиа ванадия
2.3.2 Исследование структуры и состава пленок оксидов ванадия
2.3.3 Анализ молекулярного состава методом масс-спектрометрии
2.3.4 ЯМР спектроскопия 51V и 1Н
2.3.5 Термогравиметрический анализ
2.3.6 Спектроскопия комбинационного рассеяния света
2.3.7 Электрофизические измерения
3. ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ ВОДОРОДА И ВОЛЬФРАМА НА СВОЙСТВА
ДИОКСИДА ВАНАДИЯ И ГИДРАТИРОВАННОГО ПЕНТАОКСИДА ВАНАДИЯ. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ
3.1 Расчет профиля концентрации имплантированной примеси
3.2 Влияние имплантации на свойства плёнок диоксида ванадия
3.3 Влияние имплантации водорода на свойства пленок пентаоксида ванадия
3.3.1 Рентгеноструктурный анализ
3.3.2 Увеличение эффективности ЭХЭ после гидрирования
3.3.3 Оптические характеристики
3.3.4 Спектры комбинационного рассеяния
3.3.5 ЯМР анализ
3.3.6 Термо-гравиметрический анализ
3.4 Изучение эффекта переключения в структурах на основе V205•nH20
3.4.1 Влияние имплантации водорода на переключение в структурах на основе пленок ксерогеля Уг05-пН20
3.4.2 Влияние имплантации вольфрама на переключение в структурах на основе пленок ксерогеля Уг05-пН20
4. КИНЕТИКА ТОКА В ПЛЕНКАХ ГИДРАТИРОВАННОГО ПЕНТАОКСИДА ВАНАДИЯ В ПОТЕНЦИОСТАТИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ
4.1 Гидратированный пентаоксид ванадия как твердотельный электролит
4.2. Диффузионный импеданс Варбурга
4.3. Расчет параметров электрохимической эквивалентной схемы кинетики тока в ГПВ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ВЫВОДЫ
Список сокращений
Список используемой литературы