Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Панченко Валерий Александрович. Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации
- Короткий опис:
- Панченко Валерий Александрович. Разработка и исследование технологии формирования активных диффузионных слоев элементов твердотельной электроники методом импульсной имплантации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Нальчик, 2002.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2339-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб