Пушкарев Александр Иванович. Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Томск
Рік захисту:
2002
Короткий опис:
Пушкарев Александр Иванович. Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама : диссертация ... кандидата технических наук : 05.14.12, 01.04.08.- Томск, 2002.- 150 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1611-6