Развитие метода оптического зондирования ПАВ с опорной дифракционной решеткой Кащенко, Николай Михайлович

Короткий опис

Кащенко, Николай Михайлович.Развитие метода оптического зондирования ПАВ с опорной дифракционной решеткой : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.03. - Москва, 2000. - 185 с. : ил.

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Кащенко, Николай Михайлович
Введение
1 Методы оптического зондирования ПАВ
Обзор литературы)
1.1 Взаимодействие зондирующей оптической волны с ПАВ
1.2 Методы прямого детектирования интенсивности дифракционных порядков.
1.3 Методы с оптическим гетеродинированием.
1.4 Методы, у которых диаметр зондирующего пучка меньше длины ПАВ.
1.5 Методы, у которых диаметр зондирующего пучка больше длины ПАВ.
2 Теоретические основы методики оптического зондирования с двойным прохождением через ОДР
2.1 Постановка задачи.
2.2 Расчет пространственного спектра (ПС) и интенсивности в дифракционных порядках.
2.3 Анализ схемы, содержащей движущуюся решетку с малой глубиной пространственной модуляции (схема с ПАВ)
2.4 Анализ выражения для колебаний интенсивности с частотой в нулевом порядке при использовании ОДР с формой меандра
3 Измерение глубины прямоугольных периодических структур с помощью лазерного зондирования
3.1 Теоретическое обоснование предложенной методики измерений
3.1.1 Соотношение для расчета амплитуды интенсивности дифракционных порядков в случае неравенства протяженности выступа и впадины.
3.1.2 Соотношение для расчета амплитуды интенсивности дифракционных порядков в случае когда опорная решетка имеет трапециевидную форму.
3.2 Методика определения глубины решеток по измерению распределения интенсивности дифракционных порядков в отраженном пучке.
3.3 Методика определения глубины решеток по измерению распределения интенсивности дифракционных порядков в проходящем пучке.
3.4 Результаты экспериментов
3.5 Влияние формы решетки на измерение физической глубины
4 Автоматизированная установка для измерения распределений ПАВ с использованием ОДР и результаты экспериментов
4.1 Описание автоматизированной установки с ОДР для измерения распределений ПАВ.
4.2 Настройка и выбор параметров оптического зондирования с ОДР.
4.2.1 Настройка параллельности волнового фронта и ОДР
4.2.2 Влияние угла наклона зондирующего пучка в плоско, сти штрихов.
4.3 Методики фазовых измерений . . . :.
4.3.1 Поперечное сканирование при неподвижной ОДР
4.3.2 Поперечное сканирование с прикрепленной ОДР
4.3.3 Ошибки измерений фазовых фронтов.
4.4 Фазовые ошибки из-за нестабильности опорного генератора и гетеродина.
4.5 Результаты экспериментальных измерений, характеризующих автоматизированную установку.
4.6 Первоначальная обработка результатов.
4.7 Измерение амплитудно-фазовых распределений ПАВ
4.8 Методика определения глубины ПАВ по измеренной величине отношения и значению глубины фазовой модуляции ОДР.
4.9 Результаты измерений амплитудных и фазовых распределений на экспериментальных образцах.
4.10 Применение 03 с ОДР для считывания радиосигнала