Стабильность интегрально-оптических схем на основе HxLi1-xNbO3 –волноводов в зависимости от состояния приповерхностного слоя кристалла ниобата лития Сосунов Алексей Владимирович

Короткий опис

Сосунов, Алексей Владимирович.
Стабильность интегрально-оптических схем на основе HxLi1-xNbO3волноводов в зависимости от состояния приповерхностного слоя кристалла ниобата лития : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.07 / Сосунов Алексей Владимирович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»]. - Пермь, 2021. - 115 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Сосунов Алексей Владимирович
Список сокращений
Введение
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.1 Интегрально-оптическая схема (модулятор интенсивности излучения)
1.1.1 Краткая историческая справка
1.1.2 Описание интегрально-оптической схемы
1.1.3 Передаточная функция интегрально-оптической схемы
1.1.4 Электрооптический эффект
1.1.5 Волноводные моды
1.2 Дрейф рабочей точки интегрально-оптических схем
1.2.1 Введение в понятие дрейфа РТ
1.2.2 Источники дрейфа РТ и методы их устранения
1.3 Структура и свойства НЛ
1.3.1 Фазовая диаграмма системы Ы20-МЬ205
1.3.2 Собственная дефектная структура НЛ
1.3.3 Физические свойства НЛ
1.3.4 Особенности структуры и свойств приповерхностных слоёв кристалла НЛ
1.3.5 Строение нарушенного приповерхностного слоя
1.4 Протонообменные волноводы
1.4.1 Создание протонообменных волноводов
1.4.2 Структурные изменения НЛ при протонном обмене и постобменном отжиге
1.5 Основные выводы из обзора литературы
2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ И МЕТОДЫ ИХ ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1 Методы исследования поверхности и приповерхностного слоя
пластин ниобата лития
2.1.1 Оптическая микроскопия
2
2.1.2 Оптическая профилометрия
2.1.3 Сканирующая электронная микроскопия
2.1.4 Рентгеноструктурный анализ
2.1.5 Атомно-силовая микроскопия
2.2 Изготовление ИОС. Методы исследования оптических и дрейфовых характеристик ИОС
2.2.1 Изготовление ИОС
2.2.2 Модовая спектроскопия
2.2.3 Измерение оптических потерь и дрейфа рабочей точки ИОС при приложении напряжения
2.2.4 Дрейф рабочей точки ИОС при изменении температуры
3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
3.1. Результаты исследования состояния поверхности и приповерхностного слоя пластин НЛ
3.1.1. Результаты оптической микроскопии поверхности исследуемых пластин НЛ
3.1.2. Результаты оптической профилометрии поверхности исследуемых пластин НЛ
3.1.3. Результаты электронной микроскопии приповерхностного слоя пластин НЛ
3.1.4. Результаты рентгеноструктурного анализа поверхности исследуемых пластин НЛ
3.1.5. Результаты атомно-силовой микроскопии приповерхностного слоя пластин НЛ
3.1.6. Выводы к главе
3.2. Результаты исследования оптических и дрейфовых характеристик интегрально-оптических схем
3.2.1. Восстановление нарушенного приповерхностного слоя
3.2.2. Результаты модовой спектроскопии
3.2.3. Результаты исследования времени дрейфа рабочей точки в ИОС (кратковременной дрейф)
3.2.4. Результаты исследований температурного дрейфа рабочей точки в
ИОС (долговременный дрейф)
3.2.5. Выводы к главе
Заключение
Основные результаты диссертации опубликованы в работах
Благодарности
Список литературы
ПРИЛОЖЕНИЕ А
ПРИЛОЖЕНИЕ Б
Список сокращений
НЛ - ниобат лития, LiNb03
ИОС - интегральная оптическая схема (модулятор интенсивности излучения) HxLil-xNb03 - волноводы, полученные методом протонного обмена РТ - рабочая точка ПО - протонный обмен
ПИД-контроллер - пропорционально-интегрально-дифференцирующий контроллер
ИК-спектроскопия - инфракрасная спектроскопия АСМ - атомно-силовой микроскоп ХМП - химико-механическая полировка
Введение