Структура пленок аморфного германия Бардамид, Александра Федоровна

Короткий опис

Бардамид, Александра Федоровна.
Структура пленок аморфного германия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Киев, 1984. - 152 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Бардамид, Александра Федоровна
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1. Ближний порядок и структурные модели аморфных тетраэдрически связанных полупроводников
1.2. Исследования микроструктуры аморфного герйания
1.3. Представления о механизме образования столбчатой структуры в аморфных пленках и машинное . моделирование процесса конденсации.
1.4. Температура кристаллизации.
1.5. Электропроводность пленок аморфного германия.
1.6. Особенности косо осажденных пленок
1.7. Выводы.
ГЛАВА П. ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОСТРУКТУРЫ ПЛЕНОК а- Ge В
ЗАВИСИМОСТИ ОТ УСЛОВИЙ КОНДЕНСАЦИИ.
2.1. Методика эксперимента.
2.1.1. Получение пленок
2.1.2. Исследование микроструктуры.*
2.2. Микроструктура пленок г^ве
2.2.1. Электронная микроскопия.
2.2.2. Малоугловая электронная дифракция.
2.3. Игольчатая структура аморфных пленок Si и некоторых окислов.
2.4. Условия существования сетки пор в пленках
2.5. Механизм конденсации а-¿/к.
2.6. Недостатки методики профильных снимков
2.7. Выводы.
ГЛАВА Ш. ПОСЛОЙНЫЙ АНАЛИЗ КИСЛОРОДА В ПЛЕНКАХ а-¿Я?
3.1. Методика эксперимента.
3.2. Результаты эксперимента
3.2.1. Пленки а- Ge на ситалловой подяоякв.
3.2.2. Пленки а- Ge на подслое серебра и углерода.
3.3. Обсуждение результатов.
3.3.1. Поверхностный и конечный всплески в нормально осажденных пленках.
3.3.2. Поверхностный всплеск в косо осажденных пленках.
3.3.3. Распределение кислорода в объеме.
3.3.4. Конечный всплеск в косо осажденных пленках а- Ge.
3.3.5. Диффузия атомов через пленки а-(те.
3.4. Выводы.
ГЛАВА 1У. БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК В КОСО ОСАЖЕННЫХ ПЛЕНКАХ a-Ge.
4.1. Методика эксперимента.
4.4.1. Получение пленок.
4.1.2. Получение и обработка электронограмм.
4.1.3. Расчет функций радиального распределения атомов.
4.2. Дифракционные кривые интенсивности.
4.3. Анализ интерференционных кривых.
4.4. Анализ ФРРА.
4.5. Выводы.
ГЛАВА У. ФОТОПРОВОДИМОСТЬ КОСО ОСАЖЕННЫХ ПЛЕНОК АМОРФНОГО
ГЕРМАНИЯ.
5.1. Введение.
5.2. Литературные данные о плотности состояний на уровне Ферми в а- (?£
5.3. Результаты и их обсуждение. вывода.