Влияние радиационных дефектов на процесс формирования углеродного алмазоподобного покрытия Колпаков, Александр Яковлевич

Короткий опис

Колпаков, Александр Яковлевич.
Влияние радиационных дефектов на процесс формирования углеродного алмазоподобного покрытия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Белгород, 2000. - 137 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Колпаков, Александр Яковлевич
Введение
Глава 1. Основные методы формирования углеродных 11 алмазоподобных покрытий, свойства получаемых конденсатов
1.1. Свойства углеродных алмазоподобных покрытий, получаемых 11 конденсацией углерода в условиях ионной бомбардировки
1.2. Дефекты в кристаллах, физические модели ионно- 31 индуцированного уплотнения покрытий
Выводы к главе
Глава 2. Радиационно-диффузионная модель уплотнения углеродного конденсата ионами, учитывающая эволюцию радиационных дефектов в термически активируемых диффузионных процессах
2.1. Моделирование атомных столкновений и уплотнения 64 углеродного конденсата, вызванных ионной бомбардировкой
2.2. Эволюция радиационных точечных дефектов в углеродном 70 конденсате
Выводы к главе
Глава 3. Аналитические зависимости свойств углеродных конденсатов от условий формирования
3.1. Зависимость плотности углеродных конденсатов и внутренних 76 напряжений в них от энерии ионов и степени ионизации потока углерода
3.2. Влияние температуры подложки на плотность углеродных 79 покрытий и внутренние напряжения в них
Выводы к главе
Глава 4. Импульсный метод формирования углеродных алмазоподобных покрытий, учитывающий роль радиационных дефектов в формировании конденсата с заданными свойствами
4.1. Анализ существующих методов формирования углеродных 87 алмазоподобных покрытий
4.2. Определение основных параметров процесса, обеспечивающих формирование алмазоподобного покрытия.
Выводы к главе
Глава 5. Результаты экспериментальных исследований
5.1. Методики исследования свойств углеродных конденсатов
5.2. Экспериментальная установка
5.3. Импульсный источник углеродной плазмы
5.4. Зависимости плотности, модуля Юнга, микротвердости 107 углеродных покрытий и внутренних напряжений в них от энергии ионов углерода и температуры подложки
Выводы к главе