Вторичная эмиссия комплексных ионов примесь-матрица из легированного кремния Гурьянов, Георгий Маркович

Короткий опис

Гурьянов,ГеоргийМаркович.Вторичнаяэмиссиякомплексныхионовпримесь-матрицаизлегированногокремния: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Ленинград, 1984. - 186 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
r)/ / 0У/ Ордена Ленина научно-производственное объединение "ПОЗИТРОН" На правах рукописи ГЛ^ЬЯНОВГеоргийМаркович^((jyj^ ^ ^ВТОРИЧНАЯЭМИССИЯКОМПЛЕКСНЫХИОНОВПРИМЕСЬ-МАТРИЦАИЗЛЕГИРОВАННОГОКРЕМНИЯСпециальность 0 1 . 0 4 . 0 4 - физическая электроника, в том числе квантовая Диссертация на соискание

стр. 2
вторично-ионной масс-спектрометрии ^т 2.3. Разработка методики достоверной регистрациикомп­ лексныхфрагментоввторичнойионнойэмиссии^^ 2.4. Контрольные измерения 7^ Глава 3. Экспериментальное исследованиеэмиссиикомплексныхионов"примесь-матрица" изкремния?9 3.1.ЭмиссияионовSin.X при бомбардировкекремния

стр. 8
корректные значения токавторичныхкомплексныхионоввида "примесь-матрица". 2. При бомбардировкелегированногокремнияионамисредних энергий наблюдаетсявторичнаяионнаяэмиссиякомплексныхионоввида SLn.X~ , где п. = I + б, X - атомпримеси. Тецденция из­ менения выходовионовпри увеличении количества атомов

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Гурьянов, Георгий Маркович
Введение. ^
Глава 1ф Эмиссия комплексных ионов при бомбардировке твердых тел ионами средних энергий (обзор литературы). И
1.1. Основные представления о механизме вторичной ионной эмиссии атомарных ионов. Н
1.2. Экспериментальное исследование вторичной ионной эмиссии комплексных ионов. ^
1.3. Теоретические модели эмиссии комплексных ионов из твердого тела. 32.
1.4. Выводы и постановка^задачи.
Глава 2. Объекты исследования. Техника и методика экспериментальных исследований. ^
2.1. Выбор объектов исследования и способа измерения.
2.2. Аппаратура вторично-ионной масс-спектрометрии. ^
2.3. Разработка методики достоверной регистрации комплексных фрагментов вторичной ионной эмиссии.,
2.4. Контрольные измерения.
Глава 3. Экспериментальное исследование эмиссии комплексных ионов "примесь-матрица" из кремния.
3.1. Эмиссия ионов SinX при бомбардировке кремния ионаш неона.
3.2. Основные закономерности эмиссии комплексных ионов "приме сь-матрица". <S
3.3. Эмиссия отрицательных комплексных ионов.
3.4. Выводы из результатов экспериментальных исследований. т
Глава 4. Модель вторичной ионной эмиссии комплексных ионов "примесь-матрица". Н^
4.1. Механизм выхода комплексных ионов вида SinX .'Ilk
4.2. Факторы, влияющие на вероятность эмиссии комплексных ионов "примесь-матрица"./Й
4.3. Выводы из главы. .№
Глава 5. Некоторые возможности использования комплексных ионов во вторично-ионной масс-спектрометрии.
5.1. Использование комплексных ионов для снижения пределов обнаружения примесей. . ЙЗ
5.2. Разработка методики анализа фазовой неоднородности в кремнии, возникающей при легировании его примесями, методом ионной имплантации.
5.3. Выводы. 1G