Атомно-молекулярные и электронные процессы на поверхности полупроводников, помещенных в диссоциированные газы Мосин, Юрий Викторович

Краткое описание

Мосин, Юрий Викторович.
Атомно-молекулярные и электронные процессы на поверхности полупроводников, помещенных в диссоциированные газы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Орел, 1998. - 97 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Мосин, Юрий Викторович
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1 ПРОЦЕССЫ НА ГРАНИЦЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И
АКТИВНЫХ ГАЗОВ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ). ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
1.1 Адсорбция и десорбция атомов и молекул
1.2 Гетерогенная рекомбинация атомов
1.3 Аккомодация энергии твердым телом
1.4 Образование возбужденных молекул
1.5 Эмиссионные явления
1.6 Обзор методов исследования поверхности и процессов на границе твердых тел и активных газов
1.7 Постановка задачи
Глава 2 МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Экспериментальная установка
2.1.1 Реакционная камера
2.1.2 Система получения, очистки и напуска газа
2.1.3 Источник атомов
2.1.4 Измеритель концентрации атомов
2.1.5 Система получения и измерения вакуума
2.1.6 Система изменения и регистрации температуры
образца
2.1.7 Блок измерения динамического эффекта
2.1.8 Устройство для адсорбционных и десорбционных измерений
2.1.9 Устройство регистрации интенсивности РРЛ
2.2 Образцы
2.3 Методика эксперимента
2.4 "Холостые" опыты
Глава 3 КИНЕТИКА АДСОРБЦИИ И ИЗЛУЧАТЕЛЬНОЙ
РЕКОМБИНАЦИИ АТОМОВ ВОДОРОДА И КИСЛОРОДА
НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
ЗЛ Введение
3.2 Кинетика РРЛ, кинетика адсорбции и рекомбинации атомов кислорода и водорода на поверхности твердых тел
3.2Л Влияние степени отчистки поверхности образцов на форму зависимостей от времени динамического эффекта гетерогенной химической реакции, интенсивности РРЛ и адсорбции атомов
3.2.2 Кинетика адсорбции и рекомбинации атомов водорода на поверхности твердых тел
3.2.3 Кинетика РРЛ. Начальный пик на зависимости от времени скорости гетерогенной рекомбинации атомов водорода на поверхности твердых тел
3.2.4 Кинетика адсорбции и рекомбинации атомов кислорода на поверхности твердых тел
3.2.5 Кинетика адсорбции и рекомбинации атомов смеси водорода и кислорода
3.2.6 Автоколебания интенсивности РРЛ
3.3 Обсуждение результатов
3.3.1 Критика моделей реакции и возбуждения РРЛ, основанных на ударном механизме гетерогенной рекомбинации атомов водорода
3.3.2 Модель, учитывающая захват атомов из газовой фазы
в предсорбированное состояние [18-20]
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ