Чуканов, Сергей Владимирович. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня

Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники




  • скачать файл:
  • Название:
  • Чуканов, Сергей Владимирович. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Москва
  • Год защиты:
  • 1998
  • Краткое описание:
  • Чуканов, Сергей Владимирович. Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 1998.- 24 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ




Доставка любой диссертации из России и Украины


ПОСЛЕДНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Магниточувствительные люминесцентные процессы с участием триплетных молекул и экситонов в наноструктурах Пеньков Сергей Александрович
Исследование фотофизических свойств молекул NADH в растворах методами фемтосекундной поляризационной лазерной спектроскопии Горбунова Иоанна Алексеевна
Исследование фотофизических свойств фотосенсибилизатора Радахлорин в растворах клетках и на органических поверхностях с помощью флуорисцентных и голографических методов Жихорева Анна Александровна
Multiscale computational method for plasmonic nanoparticle lattices/Разномасштабный вычислительный метод для решеток плазмонных наночастиц Фрадкин Илья Маркович
Исследование структурных дефектов наноразмерных аморфных углеродных пленок методами спектроскопии комбинационного рассеяния света Сапарина Светлана Вячеславовна

ПОСЛЕДНИЕ СТАТЬИ И АВТОРЕФЕРАТЫ

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА