Деградация нанопористых диэлектриков в высокочастотной плазме и способы ее уменьшения Зотович, Алексей Иванович

Краткое описание

Зотович,АлексейИванович.Деградациянанопористыхдиэлектриковввысокочастотнойплазмеиспособыееуменьшения: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.15 /ЗотовичАлексейИванович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова]. - Москва, 2018. - 162 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
ЗотовичАлексейИвановичДЕГРАДАЦИЯНАНОПОРИСТЫХДИЭЛЕКТРИКОВВВЫСОКОЧАСТОТНОЙПЛАЗМЕИСПОСОБЫЕЕУМЕНЬШЕНИЯСпециальность 01.04.15 Физика и технология

стр. 6
деградациидиэлектриковс низкой диэлектрической проницаемостью ∙Уменьшениедеградациидиэлектриковза счет подбора газовой смеси для травления ∙ Исследование методовуменьшениядеградациидиэлектриковв процессе травления с помощью частичного или полного заполнения пор полимером Задачи, необходимые для достижения

стр. 25
получают органосиликатные стекла, которые, в основном, и используются в микроэлектронике. 25 Глава 2Деградациянанопористыхдиэлектриковв процессе их интеграции 2.1 ТравлениенанопористыхдиэлектриковВ предыдущем параграфе были описаны различные типы испособыполучениядиэлектриковс низкой диэлектрической

Оглавление диссертациикандидат наук Зотович, Алексей Иванович
Содержание
Введение
1 Применение нанопористых диэлектриков в современной микроэлектронике
1.1 Интегральные схемы и КМОП технология
1.2 Дамаекнновый процесс в интеграции межелойных диэлектриков
1.3 Нанопориетые диэлектрики с низкой диэлектрической проницаемостью , , , ,
2 Деградация нанопористых диэлектриков в процессе их интеграции
2.1 Травление нанопористых диэлектриков
2.2 Деградация диэлектриков под действием радикалов фтора
2.3 Деградация диэлектриков под действием фотонов в области вакуумного ультрафиолета
3 Синергетический эффект радикалов фтора и фотонов в области вакуумного ультрафиолета
4 Объемная плазмохимия емкостных ВЧ разрядов в СТ4/Аг и СНЕ3/Аг
4.1 Описание экспериментальной установки и экспериментальных методов , , , ,
4.2 Описание модели разряда
4.3 Сравнение модели и эксперимента
4.3.1 Электроны и отрицательные ионы
4.3.2 Положительные ионы
4.3.3 Радикалы
4.3.4 Излучение в области вакуумного ультрафиолета
4.4 Основные выводы
5 Модель травления и деградации нанопористых диэлектриков в плазме Аг/СР4 И Аг/СМ¥.л
5.1 Эксперименты по травлению диэлектриков в Аг/СГ4 и А г ('НК;;
5.2 Описание модели
6 Выбор травильной смеси для уменьшения деградации под действием
вакуумного ультрафиолета
6.1 Сравнение излучения Аг/СГ4 и Л г ('К;;1. Роль излучения аргона
6.1.1 Описание эксперимента
6.1.2 Сравнение спектров излучения Аг/СГ4 и Л г ('К;!1
6.1.3 Восстановление спектров излучения Аг/СГ4 и Л г ('К;!1
6.1.4 Основные выводы
6.2 Криогенное травление в смесях без аргона
6.2.1 Описание эксперимента
6.2.2 Травление в СНГ3 и ('НК;! Л г
6.2.3 Травление в ('К( и СГ4/Аг
6.2.4 Основные выводы работы
7 Метод заполнения пор 1олг-к диэлектриков
7.1 Заполнение пор полимером
7.2 Исследование защиты диэлектрика полимером в процессе травления
7.2.1 Защита полимера от радикалов фтора
7.2.2 Защита полимера от фотонов в области вакуумного ультрафиолета , ,
7.2.3 Влияния метода заполнения пор на перенос шаблона и деградацию стенок структуры
7.2.4 Оновные выводы
7.3 Частичное покрытие пор полимерными молекулами
7.3.1 Описание эксперимента
7.3.2 Образование слоя полимера на поверхности пор
7.3.3 Защита полимерным покрытием от радикалов фтора и фотонов в области вакуумного ультрафиолета
7.3.4 Удаление полимера с помощью УФ отжига
7.3.5 Влияние полимерной защиты на значение диэлектрической константы после травления
7.3.6 Основные выводы
Заключение
Список литературы