Экспериментальная установка для прямого лазерного микро- и наноструктурирования рельефа поверхности твердых тел Хасая Радмир Рюрикович

Краткое описание

Хасая, Радмир Рюрикович.
Экспериментальная установка для прямого лазерного микро- и наноструктурирования рельефа поверхности твердых тел : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01 / Хасая Радмир Рюрикович; [Место защиты: Институт аналитического приборостроения Российской академии наук]. - Санкт-Петербург, 2019. - 177 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Хасая Радмир Рюрикович
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. МЕТОДЫ И УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ СУБМИКРО- И НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)
1.1. Методы получения и исследования субмикро и наноструктур
1.1.1. Шаблоны и маски для экранирования лазерного излучения
1.1.2. Метод интерференции лазерных пучков на поверхности материала
1.1.3. Метод совмещения лазерного пучка с зондом атомно-силового микроскопа
1.1.4. Метод прямого лазерного субмикро и наноструктурирования
1.1.5. Методы исследования субмикро и наноструктур
1.2. Установки для получения наноструктур
1.2.1. Ионно-плазменные установки по нанесению наночастиц на поверхность твердых материалов
1.2.2. Физико-химические установки по нанесению нанопокрытий
1.2.3 Лазерные установки для получения микро и наноструктур
1.3. Постановка задачи исследования
ГЛАВА 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ПРЯМОГО ЛАЗЕРНОГО НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛОВ
2.1. Определение наиболее эффективных источников излучения для реализации метода прямого лазерного наноструктурирования
2.2. Импульсные наносекундные лазеры и их параметры
2.2.1. Лазер на парах меди (ЛПМ)
2.2.2. Электроразрядный АгБ - лазер
2.2.3. Импульсный твердотельный Nd:YAG-лазер
2.3. Блок схема экспериментальной установки
2.4. Принципиальная схема экспериментальной установки, включая оптические схемы и систему синхронизации лазеров
2.4.1. Система синхронизации лазерных импульсов
2.5. Элементы конструкции и их характеристики
ГЛАВА 3. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ
3.1. Увеличение длительности импульса излучения эксимерных лазеров
3.1.1. Генератор с искусственной формирующей линией и с системой магнитного сжатия высоковольтных импульсов
3.1.2. Накачка активной среды электроразрядных лазеров периодически затухающим напряжением на разрядном промежутке
3.2. Определение средней плотности энергии и оптимальных параметров облучения для формирования микро, субмикро и нанорельефов
3.3. Определение и оптимизация скорости сканирования лазерного пучка
ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО ПОЛУЧЕНИЮ СУБМИКРОННЫХ И НАНОСТРУКТУР
4.1. Приборы и устройства для исследования субмикро и наноструктур, полученных на поверхности твердых тел
4.2. Подготовка образцов и методика проведение экспериментов по формированию субмикронных и наноструктур
4.3. Получение субмикро- и наноструктур на поверхности при облучении наносекундными лазерными импульсами в неподвижном пятне
4.4. Получение субмикро и наноструктур на поверхности при облучении наносекундными лазерными импульсами сканированием лазерного пучка
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ