Интерференционный лазерный отжиг полупроводников Соколов, Игорь Альбертович

Краткое описание

Соколов, Игорь Альбертович.
Интерференционный лазерный отжиг полупроводников : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Ленинград, 1983. - 140 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Соколов, Игорь Альбертович
Стр.
ВВЕДЕНИЕ.2
Глава I. ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ЕГО МЕХАНИЗМЫ 7
§ I. Модификация свойств материалов под действием лазерного излучения.7
§ 2. Механизмы лазерного отжига .13
§ 3. Постановка задачи.31
Глава П. УСТАНОВКИ ДЛЯ ИМПУЛЬСНОГО ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО 3/
ОТЖИГА ПОЛУПРОВОДНИКОВ.34
§ I. Импульсные лазерные установки.34
§ 2. Способы создания интерференционной засветки. . 41
§ 3. Влияние геометрии оптической схемы на резуль- таты МО., до
Глава Ш. ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖГ АМОРФНЫХ НАПЫЛЕННЫХ И И0НН0-ИМ1ШНТИР0ВАННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ.67
§ I. Определение плотностей энергии лазерного излучения, необходимых для отжига аморфных напыленных и ионно-имплантированных полупроводников . 67
§ 2. ИЛО как метод контроля эпитаксиальной кристаллизации полупроводниковых материалов .83
Глава 1У. ТЕПЛОВАЯ МОДЕЛЬ МО И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕКУЧЕСТИ ПОЛУШЮВОДНЖОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ ЛА
ЗЕРНОМ ВОЗГОДЕНИИ.94
§ I. Тепловая модель МО.94
§ 2. Исследование текучести полупроводникового материала при воздействий лазерного излучения.
107