Исследование элементного и химического состава поверхности кремния и его соединений методами электронной спектроскопии Коваль, Игорь Филиппович

Краткое описание

Коваль, Игорь Филиппович.
Исследование элементного и химического состава поверхности кремния и его соединений методами электронной спектроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Киев, 1984. - 170 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Коваль, Игорь Филиппович
Введение.
ГЛАВА I. ИОНИЗАЦИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПОВЕРХНОСТИ
ТВЕРДОГО ТЕЛА . . Щ
1.1. Введение.
1.2. Физические основы метода ИС .II.
1.2.1. Ионизационные линии в спектрах вторичной электронной эмиссии
1.2.2. Глубина информативного слоя ИС
1.2.3. Сечение возбуждения остовных уровней электронным ударом
1.2.4. Эффекты химического окружения
§ I. Влияние плотности незанятых состояний
§2. Химические сдвиги в ионизационных спектрах
1.3. Выводы.
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ.
2.1. Введение
2.2. Вакуумная система.
2.2.1, Конструктивное исполнение вакуумной системы
2.2.2.Напуск газов и контроль выдержек
2.3. Методики приготовления исследуемых поверхностей
2.3.1. Приготовление поверхности кремния
2.3.2. Получение пленок моноокиси кремния. . 5g
2.3.3. Источники щелочных металлов
2.3.4. Источники ионов и NJ
2.4. Экспериментальная установка
2,4.1, Измерительная камера
2.4.2., Электронный спектрометр
2.5. Выводы.
- а
ГЛАВА 3. ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКИХ
СЛОЕВ Si.Ox". SiOa.