Литографическая широкоапертурная рефракционная рентгеновская оптика Назьмов Владимир Петрович

Краткое описание

Назьмов, Владимир Петрович.
Литографическая широкоапертурная рефракционная рентгеновская оптика : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Назьмов Владимир Петрович; [Место защиты: Ин-т ядерной физики им. Г.И. Будкера]. - Новосибирск, 2017. - 245 с. : ил.
Оглавление диссертациидоктор наук Назьмов Владимир Петрович
Введение
Глава 1. РАЗВИТИЕ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО МЕТОДА
ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУР СО СВЕРХВЫСОКИМ АСПЕКТНЫМ ОТНОШЕНИЕМ
1.1. Ультра-ИАРМБ
1.1.1. Структурирование в ультратолстых слоях резиста
1.1.2. Характеризация ультрадлинных микоструктур с ультравысоким
аспектным отношением
1.2. Стабилизация ИАКМб
1.2.1. Разработка и характеризация поддерживающего суб-слоя,
формируемого с помощью рентгеновского излучения
1.2.2. Разработка и характеризация поддерживающего суб-слоя,
формируемого с помощью ультрафиолетового излучения
1.2.3. Формирование поддерживаемых ультравысоких ИАРМб
1.2.4. Разработка интегрированной системы многоуровневой фиксации
иакмб
1.3. Радиационная стойкость микроструктур из Би-8 к рентгеновскому излучению
1.3.1. Общие замечания
1.3.2. Изменение структуры полимера в рентгеновских лучах
1.3.3. Легколетучие фрагменты
1.3.4. Исследование размера фокуса в условиях эксперимента
1.4. Выводы к главе
Глава 2. ПАРАБОЛИЧЕСКИЕ ЛИНЕЙНЫЕ ЛИНЗЫ
2.1. Основные определения
2.2. Конструктивные особенности планарных линз
2.2.1. Выбор материала
2.2.2. Оптимизация апертуры линзы
2.2.3. Статистический разброс положения преломляющих структур
относительно оптической оси
2.2.4. Ограничение на дифракционный предел вследствие конечной
апертуры линзы
2.3. Измерение размера фокуса
2.3.1. Общие замечания
2.3.2. Разработка флуоресцентного тест-объекта
2.3.3. Измерение размера фокуса с помощью флуоресцентного тест-
объекта
2.4. Пример применения линейных линз с большой апертурой
2.5. Выводы к главе
Глава 3. ПАРАБОЛИЧЕСКИЕ ЛИНЗЫ С ТОЧЕЧНЫМ ФОКУСОМ
3.1. Принцип планарных скрещенных линз
3.2. Короткая или тонкая линза
3.2.1. Количество преломляющих микроструктур N
3.2.2. Поворот линзы вокруг оптической оси
3.2.3. Тестирование скрещенных линз
3.2.3.1. Температурные деформации
3.2.3.2. Измерение размера фокуса
3.2.3.3. Элементный анализ микропроб
3.3. Длинная линза - параболическая линза с увеличенной числовой апертурой
3.3.1. Оптимизация параметров дизайна
3.3.2. Минимизация фокуса при большом размере источника
3.3.2.1. Расчёт величины фокуса
3.3.2.2. Измерение размера фокуса
3.3.3. Рентгеновская микроскопия с помощью скрещенных
полимерных преломляющих линз
3.3.3.1.Рентгеновская микроскопия сфокусированным лучом
3.3.3.2. Микроскопия большого поля зрения
3.3.3.2.1. Моделирование
3.3.3.2.2. Экспериментальное исследование частично прозрачных микрообъектов
3.3.3.3.Многопольный рентгеновский микроскоп
3.3.4. Рентгеновский телескоп
3.4. Адиабатическая линза - следующий шаг по пути увеличения
числовой апертуры
3.4.1. Моделирование и изготовление линзы
3.4.2. Измерение размера фокуса
3.5. Выводы к главе
Глава 4. КИНОФОРМНАЯ ЛИНЗА
4.1. Математическая модель линзы
4.2. Исследование процесса формирования линз
4.2.1. Линзы из ПММА
4.2.2. Би-8-линзы и их исследование
4.2.3. Никелевые линзы
4.3.Выводы к главе
Глава 5. МОЗАИЧНАЯ ЛИНЗА
5.1. Одномерная модель
5.1.1.Тонкая линза
5.1.1.1. Теоретическое построение
5.1.1.1.1. Геометрическая модель 1Э мозаичной линзы
5.1.1.1.2.Полуадиабатическое приближение
5.1.1.2. Изучение принципа формирование планарных полимерных мозаичных линз
5.1.1.3. Тестирование линз
5.1.1.3.1. Пропускание излучения линзой
5.1.1.3.2. Фокусное расстояние
5.1.1.3.3. Размер фокуса
5.1.1.4. Линзы из мультиматериала
5.1.2. Двумерная мозаичная линза
5.1.2.1.Математическая модель
5.1.2.2. Исследование мозаичных 2Э линз
5.1.2.3. Исследование 2Э линз с цилиндрической симметрией
5.2. Мозаичная линза с адиабатическим сужением
5.2.1. Математическая модель мозаичной адиабатической
преломляющей Ш линзы
5.2.2. Оптические характеристики линзы с упорядочением по правилу
мозаики адиабатически меняющихся в размере преломляющих элементов
5.3. Монохроматизация рентгеновского излучения
5.3.1 .Предварительные замечания
5.3.2. Экспериментальное исследование монохроматизации
5.3.3. Модель полихромной линзы
5.4. Выводы к Главе
Основные результаты работы
Рекомендации по использованию результатов и перспективы
Перечень сокращений
Список иллюстративного материала
Цитированная литература