Метастабильность состояния в легированных бором и фосфором пленках a-Si:H, возникающие под влиянием внешних воздействий Ларина, Эльвира Викторовна

Краткое описание

Ларина, Эльвира Викторовна.
Метастабильность состояния в легированных бором и фосфором пленках a-Si:H, возникающие под влиянием внешних воздействий : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1999. - 138 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Ларина, Эльвира Викторовна
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава 1. Литературный обзор
1.1. Образование и релаксация созданных освещением метастабильных состояний в нелегированном a-Si:H
1.2. Образование и релаксация созданных освещением метастабильных состояний в легированном a-Si:H
1.3. Термоиндуцированные метастабильные состояния в пленках a-Si:H и механизмы их образования и релаксации
1.4. Влияние высокотемпературного изотермического отжига на параметры пленок a-Si:H
Глава 2. Образцы и методики эксперимента, используемые в данной работе
2.1. Исследованные образцы
2.2. Измерительная установка, методы и методика измерений
2.3. Оценка точности измерений
Глава 3. Фотоиндуцированные метастабильные состояния в пленках a-Si:H, легированных бором
Основные результаты главы 3
Глава 4. Влияние высокотемпературного отжига на фотоэлектрические свойства легированных бором пленок a-Si:H и на процессы образования и релаксации фотоиндуцированных состояний в них
4.1. Влияние высокотемпературного отжига на электрические и фотоэлектрические свойства легированных бором пленок a-Si:H
4.2. Фотоиндуцированные метастабильные состояния в отожженных при высоких
температурах пленках a-Si:H(B)
Основные результаты главы 4
Глава 5. Фотоиндуцированные и термоиндуцированные метастабильные состояния в пленках a-Si:H, легированных фосфором
5.1. Фотоиндуцированные метастабильные состояния в пленках a-Si:H(P)
5.2. Термоиндуцированные метастабильные состояния в пленках a-Si:H(P)
Выводы
Список литературы