Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Теоретическая физика
скачать файл: 
- Название:
- Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления Севастьянов, Леонид Антонович
- Альтернативное название:
- Model of corpuscular screening in application to the process of sputtering Sevastyanov, Leonid Antonovich
- Краткое описание:
- Севастьянов, Леонид Антонович.
Модель корпускулярного экранирования в приложении к процессу напыления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.02, 01.04.03. - Москва, 1984. - 135 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Севастьянов, Леонид Антонович
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ПРОЦЕСС НАПЫЛЕНИЯ КАК МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ПЛАНАРНОЙ ОПТИКИ.
§1.1. Основные методы создания тонкопленочных элементов.
§1.2. Сущность и основные характеристики процесса напыления.
§ 1.3. Проблемы теоретического предсказания результатов напыления.
§ 1.4. Известные расчетные формулы эффектов экранирования в процессах напыления.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб