Моделирование высокочастотного емкостного разряда низкого и среднего давления Бережной, Станислав Владимирович

Краткое описание

Бережной, Станислав Владимирович.
Моделирование высокочастотного емкостного разряда низкого и среднего давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08. - Санкт-Петербург, 1998. - 74 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Бережной, Станислав Владимирович
1.ВВЕДЕНИЕ
2. СИСТЕМА УРАВНЕНИЙ ДЛЯ БЫСТРОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ВЧЕ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
2.1 Исходные положения
2.2 Электронное кинетическое уравнение
2.3 Уравнение неразрывности для ионов
2.4 Полная система уравнений
2.5 Численный метод решения системы уравнений
3. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
3.1 Экспериментальное изучение ВЧЕ разряда низкого давления
3.2 Численные методы изучения ВЧЕ разряда
3.2.1 Метод Монте-Карло
3.2.2 Гидродинамическое описание электронов
3.2.3 й - £] приближение
3.2.4 Гибридные модели
4. РЕЗУЛЬТАТЫ РАСЧЕТОВ, СРАВНЕНИЕ С ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫМИ ДАННЫМИ И АНАЛИЗ ФОРМИРОВАНИЯ ФРЭ
4.1 Проверка модели путем сравнения результатов БМ с результатами, полученными с применением техники Монте-Карло
4.1.1 Проверка процедуры разделения полей и нелокального приближения для описания ФРЭ
4.1.2 Проверка корректности расчета профиля ионов и полностью самосогласованного расчета методом БМ
4.2 Анализ экспериментальных данных 37 4.2.1 Сравнение результатов БМ с экспериментальными данными для гелия.
4.2.2 Поведение ВЧ разряда низкого давления при малых токах
4.2.3 Формирование пика холодных электронов из-за нелокальности
4.2.4 Эволюция ФРЭ с изменением давления
4.2.5 Сравнение результатов БМ с экспериментальными данными для разряда в аргоне
4.3 Чувствительность системы к различным процессам
4.4 Характер перехода ФРЭ к пикированной форме с ростом тока
4.5 Выводы
5. ВЧЕ РАЗРЯД СРЕДНЕГО ДАВЛЕНИЯ
5.1 Полностью самосогласованная система уравнений для описания ВЧЕ разряда среднего давления
5.2 Результаты моделирования и сравнение с экспериментальными данными
5.3 Выводы