Получение и исследование структурно совершенных pn-переходов на карбиде кремния политипа 6Н Константинов, Андрей Олегович

Краткое описание

Константинов, Андрей Олегович.
Получение и исследование структурно совершенных pn-переходов на карбиде кремния политипа 6Н : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Ленинград, 1984. - 162 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Константинов, Андрей Олегович
ВВЕДЕНИЕ. Общая характеристика работы.
Глава I. Обзор литературы.
§ I-I Особенности кристаллической и зонной Ю структуры карбида кремния.
§ 1-2 Легирующие примеси в карбиде кремния.-.
§ 1-3 Выращивание кристаллов карбида кремния.-. 20 и свойства рп.-переходов, получаемых в процессе роста.
§ 1-4 Сублимационный сэдцвич-метод.
§ 1-5 Получение эпитаксиальных слоев и рп. - 26 структур пиролизом химических соединений кремния и углерода.
§ 1-6 Получение рп-переходов диффузией и ион- оп ной имплантацией.
Глава 2. МЕТОДИКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ЭКСПЕРИМЕНТОВ.
§ 2-1 Высокотемпературные технологические OQ установки. «J
§ 2-2 Внутренняя арматура тигля и конструкции сэндвич-ячеек.-.
§ 2-3 Подготовка образцов к эпитаксиальному наращиванию и измерениям. 4fe
Глава 3. ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ ВЫРАЩИВАНИЕ СТРУКТУРНО СОВЕРШЕННЫХ |р л-ПЕРЕХОДОВ.
§ 3-1 Массоперенос карбида кремния в субли- „ мациояном сэндвич-методе.эо
§ 3-2 Эксперименты по выращиванию РА- структур.i.
Глава 4. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ФОТОЭЛЖТРИЧЕОШЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СТРУКТУРНО СОВЕРШЕННЫХ ^ О-ПЕРЕХОДОВ'.-.
§ 4-1 Прямая ветвь вольтамперной характерно- до тики.
§ 4-2 Напряжение лавинного пробоя (ра- перехода и его та политипе 6Н да и его температурная зависимость в ^
§ 4-3 Доцробойные обратные токи ^-перехода.
§ 4-4 Шнурование тока лавинного пробоя в 6Н ;.V.
§ 4-5 Фотоэлектрические исследования структурно совершенных ра- переходов.'.
Глава 5 ИССЛЕДОВАНИЕ ЛАВИННОГО УМНОЖЕНИЯ В (^-ПЕРЕХОДАХ.
§ 5-1 Оцределение коэффициентов ударной ионизации из данных по лавинному умножению.v.
§ 5-2 Сравнение экспериментальных результатов по ударной ионизации с имеющимися теоретическими представлениями.'.
§ 5-3 Исследование лавинного умножения в карбиде кремния с помощью электронного зонда.v.
ЗАКЛЮЧЕН И Е.
ВЫВОДЫ.