Разработка и исследование источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда и систем очистки плазмы от микрокапельной фракции Степанов, Игорь Борисович

Краткое описание

Степанов, Игорь Борисович.
Разработка и исследование источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда и систем очистки плазмы от микрокапельной фракции : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.20. - Томск, 1998. - 188 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат технических наук Степанов, Игорь Борисович
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ФОРМИРОВАНИЕ ПЛАЗМЕННЫХ ПОТОКОВ И ПУЧКОВ УСКОРЕННЫХ ИОНОВ В ИСТОЧНИКАХ НА ОСНОВЕ ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛА ВАКУУМНОЙ ДУГОЙ
1.1. Источники плазмы на основе вакуумно-дугового разряда и характеристики формируемых плазменных потоков
1.2. Параметры капельной фазы
1.3. Исследования по формированию очищенных от микрокапельной фракции плазменных потоков и пучков ускоренных ионов в источниках на основе испарения метала вакуумной дугой
1.3.1. Методы снижения доли микрокапельной фракции в структуре наносимых покрытий
1.3.2. Устройства очистки плазмы вакуумно-дугового разряда от микрокапельной фракции
1.4. Формирование пучков ускоренных ионов в источниках на
основе испарения металла вакуумной дугой
Выводы
ГЛАВА II. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ УСТРОЙСТВ ОЧИСТКИ ПЛАЗМЫ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО РАЗРЯДА ОТ МИКРОКАПЕЛЬНОЙ ФРАКЦИИ
2.1. Экспериментальное оборудование и методика исследования
2.2. Исследование процессов формирования приэлектродного падения напряжения в плазмоводах жалюзного типа
2.3. Исследование закономерностей распространения плазмы в однощелевой системе жалюзного типа
2.4. Исследование процессов распространения вакуумно-дуговой плазмы
в многоэлектродных жалюзных системах
2.5. Исследование аксиально-симметричных плазменных фильтров
2.6. Исследование закономерностей очистки плазмы вакуумной
дуги при использовании механического сепаратора
Выводы
ГЛАВА III. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИСТОЧНИКА
УСКОРЕННЫХ ИОНОВ И ПЛАЗМЕННЫХ ПОТОКОВ « РАДУГА 5» С НЕПРЕРЫВНЫМ ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ РАЗРЯДОМ
3.1 Разработка плазменного фильтра для источника ускоренных ионов
и плазменных потоков
3.2 Система формирования ионного пучка и отсечки плазменных электронов
3.3 Источник пучков ускоренных ионов и плазменных потоков "Радуга 5"
3.4 Исследования по формированию пучков ускоренных ионов и плазменных потоков в источнике "Радуга 5"
Выводы
ГЛАВА IV. НЕКОТОРЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИОННО-ЛУЧЕВОЙ И ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВОЗМОЖНОСТЕЙ ИСТОЧНИКА "РАДУГА 5"
4.1 Исследование особенностей формирования покрытий в режиме генерации источником "Радуга 5" потоков металлической плазмы
4.2 Осаждение покрытий с использованием потоков металлической
плазмы и импульсно-периодических ионных пучков
4.3. Реализация режимов импульсно-периодической ионной имплантации
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
ПРИЛОЖЕНИЯ