Развитие методов локальной катодолюминесценции прямозонных полупроводников Степович, Михаил Адольфович

Краткое описание

Степович, Михаил Адольфович.
Развитие методов локальной катодолюминесценции прямозонных полупроводников : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Москва, 1984. - 160 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Степович, Михаил Адольфович
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ КЛ ИЗЛУЧЕНИЯ ПРИ ИССЛЕДОВАНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ОБЪЕКТОВ В РЭМ /обзор литературы/.
1.1 Генерация электронно-дырочных пар при взаимодействии электронного зоцца с полупроводником.
1.2 Эмиссия излучения из полупроводников.
1.3 Использование КЛ излучения для анализа полупроводников в РЭМ.
1.3.1 Системы детектирования излучения.
1.3.2 КЛ методы исследования полупроводниковых объектов в РЭМ.
ГЛАВА II. РАЗВИТИЕ МЕТОДОВ ЛОКАЛЬНОГО КЛ АНАЛИЗА
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ОБЪЕКТОВ В РЭМ.
11.1 Экспериментальная установка и методика проведения КЛ анализа полупроводников.
11.2 КЛ анализ однородно легированных прямозонных полупроводников.
11.2.1 Использование зависимости интенсивности КЛ излучения от уровня возбуждения для определения некоторых характеристик полупроводниковых материалов.
11.2.2 Влияние поглощения излучения в полупроводнике на параметры КЛ спектров.
11.3 Определение концентрации акцепторной примеси в области р-п перехода прямозонных полупроводников по спектрам локальной КЛ.
11.3.1 Изучение закономерностей диффузии легирующей примеси с использованием РЭМ.
II.3.2 Определение концентрации акцепторной примеси в области р-п перехода.
II.4 КЛ анализ эпитаксиальных четверных твёрдых растворов.