Создание и исследование сенсора водорода на основе диодной структуры Pd/Оксид/InP Шутаев Вадим Аркадьевич

Краткое описание

Шутаев, Вадим Аркадьевич.
Создание и исследование сенсора водорода на основе диодной структуры Pd/Оксид/InP : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Шутаев Вадим Аркадьевич; [Место защиты: ФГБУН Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук]. - Санкт-Петербург, 2020. - 124 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Шутаев Вадим Аркадьевич
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1 Современные сенсоры водорода (Литературный обзор)
1.1 Электрические сенсоры
1.1.1 Каталитический сенсор водорода
1.1.2 Сенсор на основе массива нанопроволок
1.1.3 Электрохимический сенсор
1.1.4 Полимерный сенсор водорода
1.1.5 Твердотельный сенсор водорода
1.2 Оптоволоконный сенсор водорода
1.3 Ультразвуковой сенсор водорода
1.4 Сенсоры водорода с энергетическим барьером
1.4.1 Сенсоры на основе диодов Шоттки
1.4.2 Сенсоры на основе полевого транзистора
1.4.3 Сенсор на основе структуры металл-диэлектрик-металл
1.5 Фотоэлектрический способ детектирования водорода
Выводы к главе
Глава 2 Разработка технологии создания чувствительного элемента
2.1 Выбор материалов для создания чувствительного элемента
2.1.1 Выбор металла
2.1.2 Выбор полупроводника
2.2 Создание чувствительного элемента
2.2.1 Изготовление диодов Шоттки Pd/InP
2.2.2 ВАХ диодов Шоттки Pd/InP
2.2.3 Изготовление структур Pd/Оксид/InP
2.2.4 ВАХ структур Pd/Оксид/InP
Глава 3 Влияние водорода на свойства структур Pd/Оксид/InP и Pd/InP
3.1 ВАХ структур Pd/InP и Pd/Оксид/InP
3.1.1. Влияние водорода на механизмы проводимости диодов Шоттки Pd/InP
3.1.2 Влияние водорода на механизмы проводимости структур Pd/Оксид/InP
3.1.3 Сравнительный анализ электрических характеристик структур РёЛпР и Рё/ОксидЛпР
Выводы к пункту
3.2 Амплитудно-фазовые частотные характеристики структур РёЮксидЛпР
3.2.1 Импеданс структур Рё/ОксидЛпР в атмосфере воздуха и в атмосфере водорода
3.2.2 Влияние водорода на ВФХ диодов Шоттки РёЛпР
3.2.3 Влияние водорода на ВФХ структур Рё/ОксидЛпР
3.2.4 Сравнительный анализ частотных характеристик структур РёЛпР и РёЮксидЛпР
Выводы к пункту
3.3 Влияние водорода на оптическую прозрачность пленок палладия
Выводы к пункту
3.4 Фотоэлектрические свойства структур Рё/ОксидЛпР
3.4.1 Спектры чувствительности структур Рё/ОксидЛпР
3.4.2 Влияние водорода на фототок диодов Шоттки РёЛпР
3.4.3 Влияние водорода на фотоэдс структур Рё/ОксидЛпР
3.4.4 Сравнительный анализ фотоэлектрических характеристик структур РёЛпР и Рё/ОксидЛпР
Выводы к пункту
3.5 Разработка опытного образца
3.5.1 Оптопара
3.5.2 Сенсорный модуль
Выводы к Главе
Заключение
Список публикаций по теме диссертации
Список литературы
ПРИЛОЖЕНИЕ