Спицын Алексей Борисович. Кристаллизация из газовой фазы пленок алмаза и алмазоподобных нитридов
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2002
Краткое описание:
Спицын Алексей Борисович. Кристаллизация из газовой фазы пленок алмаза и алмазоподобных нитридов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.01.- Москва, 2002.- 153 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1455-5