Старик Сергій Петрович. Підвищення оптико-механічних характеристик багатошарових інтерференційних покриттів шляхом введення до їх складу захисних алмазоподібних плівок

Краткое описание

Старик Сергій Петрович. Підвищення оптико-механічних характеристик багатошарових інтерференційних покриттів шляхом введення до їх складу захисних алмазоподібних плівок : Дис... канд. наук: 05.02.01 2007
Старик С.П. Підвищення оптико-механічних характеристик багатошарових інтерференційних покриттів шляхом введення до їх складу захисних алмазоподібних плівок. Рукопис.
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.02.01 «матеріалознавство». Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України, Київ, 2007.
Дисертацію присвячено проблемі підвищення оптичних і механічних характеристик багатошарових інтерференційних покриттів. Вивчено фізичні властивості і структурні особливості вуглецевмісних матеріалів a-C:H, a-SiC:H, a-SiC, a-C, a-C NanoDiamond та встановлено, що оптимальним захисним і оптично активним матеріалом шару для багатошарового просвітлюючого покриття з робочим дальнім ІЧ діапазоном є гідрогенізований алмазоподібний вуглець (а-С:Н), осаджений плазмохімічним методом при середній енергії іонів 80-90 еВ і газовій суміші 50 об. % СН4і 50 об. % Н2. При цих параметрах осаджуються плівки з високим вмістом sp3-координованих атомів вуглецю, що забезпечує їх високі механічні властивості (нанотвердість порядку 17 ГПа, модуль пружності 164 ГПа).
Розроблено ефективні методи розв’язку обернених задач оптики шаруватих середовищ типу розпізнавання і проектування, з допомогою яких виконано оптимізацію конструкції нерівнотовщинного багатошарового просвітлюючого покриття для діапазону 8-12 мкм. Синтезовані по ній зразки впевнено відносяться до групи «0» згідно ОСТ-3-1901-85 і мають інтегральний коефіцієнт відбивання світла на рівні 0,1 % в діапазоні 8-12 мкм при задовільних термо- і вологостійкостях.