Структура и электрические свойства тонких пленок хрома, никеля, скадия и рения, полученных в высоком и сверхвысоком вакууме Лобода, Валерий Борисович

Краткое описание

Лобода, Валерий Борисович.
Структура и электрические свойства тонких пленок хрома, никеля, скадия и рения, полученных в высоком и сверхвысоком вакууме : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Киев, 1984. - 170 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Лобода, Валерий Борисович
ВВЕДЕНИЕ.
Глава I. ИССЛЕДОВАНИЕ РАЗМЕРНЫХ ЭФФЕКТОВ В ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ.(Литературный обзор).
§ I.I. Классический размерный эффект электропроводности.
1.1.1. Учет влияния поверхностей.
1.1.2. Учет рассеяния электронов на границах зерен
1.1.3. Подход Телье-Тоссэ-Пишара в описании электрогфовод-ности поликристаллических пленок
§ 1.2. Результаты экспериментальных исследований размерных эффектов электропроводности
§ 1.3. Фазовый размерный эффект в конденсированных пленках.
Глава II. МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТОВ.
§2.1. Аппаратура для получения образцов.
§ 2.2. Измерение электросопротивления осажденных слоев.
§ 2.3. Методика проведения структурных исследований.
Глава III. ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК О, Ni , Sc и Re.
§ 3.1. Образование примесных фаз при конденсации в высоком вакууме.
§ 3.2. Исследование кристаллической структуры пленок, полученных в сверхвысоком вакууме.
§3.3. О возможности образования полиморфных модификаций в тонких пленках металлов.
Глава ГУ. ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ ПЛЕНОК Хг , Sc , Mi и Re
§ 4.1. Экспериментальные результаты исследования электрических свойств.
§4.2. Спектр дефектов решетки в пленках хрома.
§ 4.3. Обработка и обсуждение полученных результатов. . . 125 ЗАКЛЮЧЕНИЕ.