Технологические источники широких пучков газовых ионов на основе дугового и тлеющего разрядов в магнитном поле Гаврилов, Николай Васильевич

Краткое описание

Гаврилов,НиколайВасильевич.Технологическиеисточникиширокихпучковгазовыхионовнаосноведуговогоитлеющегоразрядоввмагнитномполе: диссертация ... доктора технических наук : 01.04.13. - Екатеринбург, 1999. - 171 с. : ил.больше
Цитаты из текста:

стр. 1
РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК Уральское отделение Институт электрофизики На правах рукописи УДК 537.525:621.384.5ГавриловНиколайВасильевичТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕИСТОЧНИКИШИРОКИХПУЧКОВГАЗОВЫХИОНОВНАОСНОВЕДУГОВОГОИТЛЕЮЩЕГОРАЗРЯДОВВМАГНИТНОМПОЛЕ01.04.13 - электрофизика ДИССЕРТАЦИЯ на соискание ученой

стр. 3
плазме и на электродах, определяющие уровень содержания примесей в плазметлеющегоразряда. 5.4. Измерения масс-зарядового спектра плазмы дуги. Выводы 6.ИСТОЧНИКИИОННЫХПУЧКОВи их ПРИМЕНЕНИЕ Введение 6.1 .Вьюоковольтныйдуговойисточникионовгазов«Пульсар». 6.2.Источникионовгазовнаосноветлеющегоразрядав электродной системе типа обращенный магнетрон 6.3.Источникинаоснове...

стр. 11
обеспечивает получение слаборасходящихся низкоэнергетичных (~0,5 кэВ)широкихионныхпучков. 3. Предложен эмиттерионовгазовнаосноветлеющегоразрядасмагнит­ ныммультиполем у поверхности полого катода. Показано, что при изменениимагнитногополявширокихпределах в свободной отмагнитногополяобласти

Оглавление диссертациидоктор технических наук Гаврилов, Николай Васильевич
ВВЕДЕНИЕ
1. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОЙ ДУГИ
С КАТОДНЫМ ПЯТНОМ В ИСТОЧНИКЕ ИОНОВ ГАЗОВ
Введение
1.1. Концепция плазменного эмиттера ионов газов на основе дуги низкого давления с катодным пятном
1.2.Устойчивость контрагированной сужением дуги с катодным пятном
1.3. Инициирование дуги вспомогательным разрядом
1.4. Генерация плотной однородной плазмы в анодной части дуги 32 Выводы
2. ХАРАКТЕРИСТИКИ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ В МАГНИТНОМ ПОЛЕ И ИОННО-ЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА ГЕНЕРИРУЕМОЙ В РАЗРЯДЕ ПЛАЗМЫ
Введение
2.1.Свойства разряда в электродной системе типа обращенный магнетрон.
2.2.Исследование разряда в электродной системе с многополюсным магнитным полем, локализованным у поверхности полого катода.
2.3.Тлеющий разряд в электродной системе с широкоапертурным полым катодом и полым анодом в магнитном поле. 57 Выводы
3. ОСОБЕННОСТИ ХАРАКТЕРИСТИК ЗАЖИГАНИЯ И ГОРЕНИЯ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ БОЛЬШИХ РАЗМЕРОВ
В ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОМ РЕЖИМЕ
Введение
3.1. Экспериментальное исследование характеристик разряда в импульсно-периодическом режиме
3.2.Механизм появления начальных электронов в разрядном промежутке
З.З.Условия перехода от одноэлектронного к многоэлектронному зажиганию разряда
Выводы
4. ФОРМИРОВАНИЕ ПУЧКА ИОНОВ, ИЗВЛЕКАЕМЫХ ИЗ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА И ДУГИ
Введение
4.1 .Формирование низкоэнергетичных (0,5 - 2 кВ) ионных пучков
4.2.Формирование высокоэнергетичных (20-50 кэВ) ионных пучков
4.3. Влияние приэлектродного слоя на эффективность извлечения ионов из плазмы и угловую расходимость пучка
4.4.Ионная оптика для формирования широких и сходящихся ионных пучков
Выводы
5. МАССОВЫЙ СПЕКТР И ЗАРЯДОВЫЙ СОСТАВ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО
И ДУГОВОГО РАЗРЯДОВ
Введение
5.1. Методика проведения эксперимента
5.2. Измерения масс-зарядового спектра плазмы тлеющего разряда
5.3. Процессы в плазме и на электродах, определяющие уровень содержания примесей в плазме тлеющего разряда.
5.4.Измерения масс-зарядового спектра плазмы дуги. 118 Выводы
6. ИСТОЧНИКИ ИОННЫХ ПУЧКОВ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ
Введение
6.1 .Высоковольтный дуговой источник ионов газов «Пульсар».
6.2.Источник ионов газов на основе тлеющего разряда в электродной системе типа обращенный магнетрон
6.3. Источники на основе тлеющего разряда для формирования низкоэнергетичных ионных пучков.
6.4. Некоторые применения ионных источников 138 Выводы