Тонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученные методом спин-коатинга Нгуен Тхи Ханг

Краткое описание

Нгуен Тхи Ханг.
Тонкие пленки халькогенидных полупроводниковых соединений, полученные методом спин-коатинга : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.01.07 / Нгуен Тхи Ханг; [Место защиты: Моск. гос. обл. ун-т]. - Москва, 2019. - 129 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Нгуен Тхи Ханг
ВВЕДЕНИЕ......................................................................................................................5
Глава 1. Литературный обзор.......................................................................................11
1.1. Структура халькогенидных стеклообразных полупроводников.................11
1.1.1. Структуры Лб2Хз (Х=Б, Бе)..........................................................................11
1.1.2. Структурные единицы As2Xз (X=S, Se) по данным комбинационного рассеяния света........................................................................................................14
1.2. Физические свойства ХСП..............................................................................19
1.2.1. Модели энергетических зон в аморфных полупроводниках....................19
1.2.2. Оптические свойства ХСП...........................................................................21
1.2.3. Электрофизические свойства ХСП.............................................................25
1.2.4. Механические свойства ХСП......................................................................28
1.3. Получение сплавов ХСП.................................................................................31
1.4. Получение тонких пленок ХСП......................................................................33
1.4.1. Физические методы.......................................................................................34
1.4.2. Химические методы осаждения...................................................................36
1.4.3. Метод спин-коатинга (центрифугирования)..............................................39
1.5 Применение ХСП..............................................................................................44
Выводы по 1 главе...................................................................................................48
Глава 2. Экспериментальная часть. Результаты изучения кинетики растворения ХСП. Диагностика тонких пленок...............................................................................49
2.1. Методы изучения кинетики растворения ХСП. Методы диагностики и изучения оптических, электрических и механических характеристик тонких пленок..........................................................................................................49
2.1.1. Рассеяние Тиндаля........................................................................................49
2.1.2. Оптическая плотность растворов................................................................50
2.1.3. Спектрофотометр Сагу 5000........................................................................ 52
2.1.4. Рентгенофазовый анализ..............................................................................53
2.1.5. Метод ИК - спектрометрии.........................................................................54
2.1.6. Растровая электронная спектроскопия.......................................................55
2.1.7. Атомно-силовая микроскопия.....................................................................56
2.1.8. Оптическая микроскопия.............................................................................58
2.1.9. Профилометрия.............................................................................................58
2.1.10. Спектроскопия комбинационного рассеяния света.................................60
2.1.11. Метод оптического пропускания..............................................................62
2.1.12. Спектральная эллипсометрия....................................................................63
2.1.13. Методика исследования электрофизических свойств.............................66
2.1.14. Исследование механических свойств образцов.......................................68
2.2. Растворение стекол As2X3(X=S, Se) в органических растворителях..........72
2.2.1. Растворы ХСП с использованием органических растворителей.............72
2.2.2. Результаты рассеяния Тиндаля....................................................................75
2.2.3. Оптическая плотность растворов As2X3(X=S, Бе).....................................78
2.2.4. Рентгенофазовый анализ осадка..................................................................79
2.3. Результаты диагностики СК тонкопленочных структур As2Х3 (Х=S, Se) . 81
2.3.1. Получение пленок методом спин-коантинга.............................................81
2.3.2. Морфология и толщина полученных тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se).... 82
2.3.3. Фазовый анализ СК тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se).................................86
2.3.4. Элементарный состав полученных тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se).......87
2.3.5. Определение примесного состава пленок Лб2Х3 (Х=S, Se)......................89
Выводы по 2 главе................................................................................................... 92
Глава 3. Оптические, электрические и механические свойства тонких пленок
ЛБ2Х3 (Х=Б, Бе).............................................................................................................93
3.1. Структурные исследования тонких СК пленок As2Хз (Х=S, Se)................93
3.1.1. Структурные исследования тонких СК пленок As2Sз...............................93
3.1.2. Структурные исследования тонких СК пленок As2Se3.............................95
3.2. Оптическая ширина запрещенной зоны СК тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se)...........................................................................................96
3.3. Оптические константы СК тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se)......................101
3.4. Результаты определения электропроводности тонких пленок ЛБ2Х3 (Б, Бе)...........................................................................................................105
3.4.1. Результаты определения электропроводности тонких пленок As2S3 .... 105
3.4.2. Результаты определения электропроводности тонких пленок As2Se3 .. 106
3.5. Механические характеристики тонких пленок As2Х3 (Х=S, Se)...............107
3.6. Обсуждение результатов...............................................................................111
Выводы по 3 главе.................................................................................................117
ЗАКЛЮЧЕНИЕ...........................................................................................................119
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ...........................................................................................120