Высокочастотный разряд низкого давления в смесях инертных газов и галогенов как активная среда мощных источников ультрафиолетового излучения Пелли Александр Витальевич

Краткое описание

Пелли, Александр Витальевич.
Высокочастотный разряд низкого давления в смесях инертных газов и галогенов как активная среда мощных источников ультрафиолетового излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Пелли Александр Витальевич; [Место защиты: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]. - Санкт-Петербург, 2019. - 107 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Пелли Александр Витальевич
Введение
0.1 Эксимерные лампы
0.2 Применение эксимерных источников
0.3 Типы возбуждения эксимерных ламп
0.3.1 Разряд постоянного тока
0.3.2 Барьерный разряд
0.4 Альтернативные источники УФ-излучения
0.5 Безэлектродный ВЧ разряд, возбуждаемый индуктором
0.6 Особенности моделирования ЭО плазмы
0.6.1 Гидродинамическое приближение
0.6.2 Кинетическая модель
0.6.3 Обобщение выбора математической модели
Глава 1. Емкостной ВЧ разряд «конденсаторного типа»
1.1 Одномерная задача
1.1.1 Исходные данные
1.1.2 Особенности решения
1.1.3 Результаты расчетов одномерной модели
1.1.4 Обсуждение результатов
1.2 2Э модель емкостного разряда
1.2.1 Постановка задачи
1.2.2 Влияние геометрии ЭО ВЧ разряда на излучательные характеристики
1.2.3 Вынужденная диффузия
1.2.4 Обсуждение результатов
Глава 2. Расчет параметров соленоидального индуктора
2.1 Введение
2.2 Расчетная модель
2.3 Квазистатический потенциал и собственная емкость
2.4 Потенциальное электрическое поле и «межвитковая емкость»
Стр.
2.5 Оценка элементов эквивалентной схемы индуктора
2.6 Обсуждение результатов
2.7 Заключение к главе
Глава 3. Экспериментальные исследования
3.1 Описание экспериментальной установки
3.2 Подготовка к работе
3.3 Снятие радиальных профилей излучения
3.4 Методика эксперимента
3.5 Результаты измерений радиальных распределений интенсивности излучения ВЧ разряда
3.6 Обратное преобразование Абеля
3.7 Заключение к главе
Глава 4. Численное моделирование
4.1 Модель ВЧ разряда при реальной геометрии эксимерных ламп
4.1.1 Постановка задачи
4.1.2 Верификация модели
4.1.3 Обсуждение результатов
4.2 Оптимизация параметров напуска газовой среды разряда
4.2.1 Оптимизация состава смеси
4.2.2 Определение оптимального давления напуска
4.3 Заключение к главе
Заключение
Список сокращений и условных обозначений
Список литературы
Список рисунков
Список таблиц