Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Яковлев Сергей Петрович. Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра
- Краткое описание:
- Яковлев Сергей Петрович. Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2001.- 170 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/860-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб