Диффузия примесей в поверхностных слоях полупроводников вблизи твердофазной границы раздела Федотов, Александр Борисович

Короткий опис

Федотов, Александр Борисович.
Диффузия примесей в поверхностных слоях полупроводников вблизи твердофазной границы раздела : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Горький, 1984. - 158 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Федотов, Александр Борисович
ВВЕДЕНИЕ.
1. ВЗАИМНАЯ ДИФФУЗИЯ В БИНАРНЫХ ТВЕРДОФАЗНЫХ СИСТЕМАХ
1.1. Теория реакционной диффузии
1.2. Теория влияния механических напряжений на диффузию.
1.3. Метода определения коэффициентов диффузии
1.4. Взаимная диффузия в системах металл-полупроводник, окисел-полупроводник.
Выводы к главе I.
2. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ НА ДИФФУЗИЮ ПРИМЕСЕЙ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ.
2.1. Дрейф атомов примеси в поле неоднородных механических напряжений.
2.2. Решение уравнения диффузии с учетом дрейфа атомов примеси.
2.3. Низкотемпературная диффузия Л-и, в St
2.4. Диффузия Т& и Цо в $>6.
Выводы к главе 2.
3. РЕАКЦИОННАЯ ДИФФУЗИЯ В БИНАРНЫХ СИСТЕМАХ МЕТАЛЛ -ПОЛУПРОВОДНИК.
3.1. Аморфизация полупроводника в процессе термообработки вблизи его контакта с металлом.
3.2. Модель реакционной диффузии в системах металл -полупроводник
3.3. Диффузия никеля в кремнии.
3.4. Низко температурная диффузия в системе МС-^аЛй
3.5. Диффузия Ft в
3.6. Диффузия Со в G-clM
Выводы к главе 3.III
5. общие вывода.ИЗ