Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Дудников Анатолий Сергеевич. Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм
- Короткий опис:
- Дудников Анатолий Сергеевич. Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 113 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2457-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб