Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
2005
Короткий опис:
Вавилин Константин Викторович. Моделирование высокочастотных индуктивных источников плазмы малой мощности : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 2005.- 123 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-1/203