Исследование зарядопереноса в структурах металл-анодный окисел металла-полупроводник Лалэко, Владислав Анатольевич

Краткое описание

Лалэко, Владислав Анатольевич.
Исследование зарядопереноса в структурах металл-анодный окисел металла-полупроводник : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Петрозаводск, 1982. - 205 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Лалэко, Владислав Анатольевич
Введение
Глава I. Современные представления о зонной структуре и характере переноса заряда в тонкопленочных структурах.
§ I.I. Электрические свойства некристаллических веществ
§ 1.2. Токи,ограниченные пространственным зарядом
1.2.1. Интегральная инжекционная спектроскопия
1.2.2. Дифференциальная инжекционная спектроскопия
1.2.3. Энергия активации ТОПЗ
§ 1.3. Эффекты сильного поля.
1.3.1. Эффект Пула-Френкеля (ЭПФ)
1.3.2. Перколяционная электропроводность в сильных электрических полях
§ 1.4. Обзор оригинальных работ по исследованию анодных окислов тантала и ниобия
§ 1.5. Влияние сильного электрического поля на проводимость тонкопленочных структур
Глава 2. Разработка экспериментальных установок и методов исследования
§ 2.1. Приготовление образцов
§ 2.2. Комплекс измерительной аппаратуры
§ 2.3. Методика измерений
Глава 3. Экспериментальное исследование инжекционных токов в окислах тантала и ниобия и анализ результатов
§ 3.1. Исследование механизма переноса заряда в структуре Та-Та205-Мп
3.1.1. Область слабых полей
3.1.2. Область сильных полей
§ 3.2. Модель проводимости
3.2.1. Сильнокомпенсированный полупроводник
3.2.2. Слабокомпенсированный полупроводник
§ 3.3. О размерной и полевой зависимости энергии активации стационарных ТОПЗ в материалах с распределенными по энергии ловушками
3.3.1. Экспоненциальное распределение ловушек по энергии.
3.3.2. Ограниченное распределение ловушек
3.3.3. Энергия активации ТОПЗ с учетом омической проводимости
3.3.4. Определение параметров ловушек и подвижности носителей из ВАХ ТОПЗ и величины энергии активации проводимости
§3.4. Экспериментальное исследование энергии активации ТОПЗ в структуре Та-Та205-Мп0£
§3.5. Исследование влияния ряда технологических факторов на характер переноса заряда и спектр локализованных состояний окисла тантала.
3.5.1. Исследование проводимости окисла тантала в MOM структуре.
3.5.2. Влияние термообработки на свойства анодного окисла тантала
3.5.3. Легированные образцы
§3.6. Исследование деталей зонной структуры и переноса заряда в окисле ниобия . III
3.6.1. Исследование инжекционных токов в анодном окисле ниобия в MOM структуре . . . III
3.6.2. Влияние термообработки на свойства анодного окисла ниобия
3.6.3. Исследование окисла ниобия в МОП-структуре
§ 3.7. Развитие дифференциального метода анализа
ВАХ ТОПЗ.
§ 3.8. Выводы и следствия.
Глава 4. Исследование влияния сильного электрического поля на проводимость анодного окисла тантала.
§4.1. Исследование переноса заряда в структуре Та-Та20срМп02 при положительной полярности тантала.
4.1.1. Результаты эксперимента
4.1.2. Модель
§ 4.2. Исследование необратимых изменений проводимости (деградации) окисных пленок на тантале в сильных электрических полях
4.2.1. Результаты эксперимента
4.2.2. Модель
§ 4.3. Кинетика необратимых изменений проводимости
4.3.1. Результаты эксперимента
4.3.2. Модель.
§ 4.4. Исследование особенностей механизма проводимости деградированных структур
4.4.1. Изменение спектра локализованных состояний
4.4.2. Влияние операции подформовки на проводимость МОП структур.
4.4.3. Параллельный механизм проводимости
4.4.4. Влияние отжига и жесткого режима деградации на проводимость МОП структур
§ 4.5. Выводы и следствия.
Общиевыводы.