Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Капустин Евгений Николаевич. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий
- Краткое описание:
- Капустин Евгений Николаевич. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2003.- 185 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2594-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб