Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Костромин, Сергей Викторович. Низкотемпературныая технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AlN"
- Краткое описание:
- Костромин, Сергей Викторович. Низкотемпературныая технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AlN" : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Санкт-Петербург, 1997.- 18 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб