Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Морозова Александра Александровна. Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе
- ВУЗ:
- Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
- Краткое описание:
- Морозова Александра Александровна. Технология осаждения пленок оксида вольфрама методом реактивного магнетронного распыления на постоянном токе: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Морозова Александра Александровна;[Место защиты: Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)].- Санкт-Петербург, 2015.- 126 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб