Особенности дефектной структуры полупроводниковых материалов, связанные с упругой анизотропией Подрезов, Анатолий Аркадьевич

Краткое описание

Подрезов, Анатолий Аркадьевич.
Особенности дефектной структуры полупроводниковых материалов, связанные с упругой анизотропией : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1983. - 157 с. : ил
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Подрезов, Анатолий Аркадьевич
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПРИМЕСИ СО СТРУКТУРНЫМИ ДЕФЕКТАМИ ^ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР)
1.1. Взаимодействие атомов примеси и дислокаций в объеме кристалла.
1.2. Внутренние границы раздела в кристалле. Их взаимодействие с атомами примеси.
1.3. Взаимодействие дефектов на свободной поверхности кристалла
1.4. Выводы.
1.4.1. Упругое взаимодействие примесь-дислокация
1.4.2. Структура межзеренных границ и взаимодействие примеси с упругими полями таких границ
1.4.3. Упругое взаимодействие дефектов на свободной поверхности.
ГЛАВА 2. ВЛИЯНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ УПРУГОЙ ПРИМЕСНОЙ АТМОСФЕРЫ
НА ОРИЕНТАЦИЮ ПРЯМОЛИНЕЙНЫХ КРАЕВЫХ ДИСЛОКАЦИЙ
2.1. Расчетные формулы и результаты их качественного рассмотрения
2.1.1. Определение kjj и методом решении уравнений совместности деформаций.
2.1.2. Зависимость энергии взаимодействия дислокация-атмосфера от концентрации примеси. Возможность переориентации дислокационной линии
2.2. Результаты количественных расчетов для системы дислокация-атмосфера в кремнии.
2.2.1» Собственная энергия дислокации
2.2.2. Энергия взаимодействия дислокация-атмосфера
2.2.3. Энергия сиитемы дислокация-атмосфера
2.3. Обсуждение корректности применения статистики Больцмана для описания распределения примесных атомов в атмосфере
2.4. Твердый растворы с двумя типами примеси
2.5. Использование полученных результатов для интерпретации экспериментально наблюдаемого эффекта переогранки шестиугольной петли Франка в легированном кремнии
2.6. Выводы.
ГЛАВА 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИСЛОКАЦИЯМИ ВОЛЬТЕРРА МЕ13ЕРЕНН0Й <Ю0> ГРАНИЦУ ВРАЩЕНИЯ В КРИСТАЛЛАХ С Г.Ц.К. РЕШЕТКОЙ
3.1. Малоугловая граница.
3.1.1. Поле смещений и структурный фактор рассеяния на границе в изотропной среде
3.1.2. Малоугловая граница в анизотропной среде
3.1.3. Влияние ориентации сетки зернограничных дислокаций на расположение и интенсивности дифракционных рефлексов
3.2. Большеутловая граница.
3.2.1. Поле смещений отдельной дислокации
3.2.2. Поле смещений сетки зернограничных дислокаций. Структурный фактор рассеяния на границе
3.3. Структурный фактор рассеяния на границе с большим угловым несоответствием (сравнение с литературными данными)
3.4. Дилатационные поля сетки зернограничных дислокаций. Перераспределение примеси вблизи границы .III
3.5. Выводы.
ГЛАВА 4. УПРУГОЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ НА <ЮО>
СВОБОДНОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛА.
4.1. Поле смещений дефекта на поверхности.
4.2. Энергия взаимодействия поверхностных дефектов
4.3. Взаимодействие дефектов в приближении кристалла изотропной средой
4.4. Влияние упругой анизотропии на поля смещений и энергию взаимодействия дефектов на поверхности
4.5. Выводы.