Влияние радиационных воздействий на электрофизические свойства МНОП структур Хан Су Хуан, 0

Краткое описание

Хан Су Хуан.
Влияние радиационных воздействий на электрофизические свойства МНОП структур : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Одесса, 1984. - 141 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Хан Су Хуан, 0
ВВЕЩЕНИЕ • • • ■.
ГЛАВА I. ИЗМЕНЕНИЯ СВОЙСТВ МНОП СТРУКТУР ПОД ВЛИЯНИЕМ
РАДИАЦИОННЫХ ВОЗДЕЙСТВИЙ ••
§ I. Общие свойства МНОП структур
§ 2. Изменения характеристик ЩП структур при облучении ионами и под действием электромагнитного излучения
1. Изменение свойств диэлектрических пленок 1 при. облучении ионами • • •.
2.» Влияние мощного лазерного излучения на характеристики аморфных диэлектриков
3. Облучение ЩП структур ультрафиолетовыми и рентгеновскими лучами • • • • • • • • • • • • • • •
ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ
§ I. Образцы для исследований
§ 2. Контактные устройства для измерений
1. Электрофизические измерения
2. Измерения пористости.
§ 3. Методики электрофизических измерений
§ 4. Измерение однородности характеристик
МНОП структур по площади.
§ 5. Методика высокотемпературного травления
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ЖЕСТКОГО ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
НА ХАРАКТЕРИСТИКИ МНОП СТРУКТУР
§ I. Изменение характеристик аморфного нитрида кремния под действием рентгеновских лучей
§ 2. Влияние ультрафиолетового излучения на свойства нитрида кремния
§ 3. Кинетика заполнения ловушек в Sijl^ при облучении.
ГЛАВА 4. ИЗМЕНЕНИЯ В МНОП СТРУКТУРАХ В.ПРОЦЕССЕ
ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ И ПРИ ЛАЗЕРНОМ ОТЖИГЕ.
§ I. Влияние облучения бором и фосфором на свойства нитрида кремния
§ 2. Влияние мощного лазерного излучения на характеристики тонких пленок нитрида кремния
§ 3. Структурные превращения в аморфных пленках нитрида кремния при отжиге в хлористом водороде • • • • • • • • •
ВЫВОДЫ . •••
ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ. ДИССЕРТАЦИИ • .126 "