Исследование особенностей получения и свойств тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2 Cu3 O7-x Воробьев, Андрей Константинович

Короткий опис

Воробьев, Андрей Константинович.
Исследование особенностей получения и свойств тонких пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2 Cu3 O7-x : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Нижний Новгород, 1999. - 134 с.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Воробьев, Андрей Константинович
Оглавление.
Предисловие.
ГЛАВА I.
Введение. Тонкие пленки ВТСП в электронике: приоритетные направления исследований, области применения и методы получения.15
1.1. Вводные замечания.
1.2. Приоритетные направления исследований: влияние дефектов на свойства пленок и структур.
1.3. Применения тонких пленок ВТСП в электронике: достижения и перспективы развития.
1.3.1. Пассивные устройства ВЧ и СВЧ электроники.
1.3.2. СКВИДы.
1.3.3. Цифровые схемы.
1.4. Микроструктура YBCO тонких пленок.
1.5. Подложки для YBCO тонких пленок.
1.6. Основные методы осаждения YBCO пленок.
1.6.1. Вакуумное соиспарение.
1.6.2. Химическое осаждение из паровой фазы.
1.6.3. Лазерное испарение.
1.6.4. Магнетронное распыление.
1.7. Краткие выводы.
ГЛАВА И.
Получение тонких пленок YBCO в инвертированной цилиндрической магнетронной распылительной системе.39
2.1. Вводные замечания.
2.2. Физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки.
2.3. Получение ВТСП пленок методом магнетронного распыления.
2.3.1. Механизм магнетронного распыления материалов.
2.3.2. Особенности получения ВТСП пленок методом магнетронного распыления.
2.4. Получение YBCO пленок в инвертированной цилиндрической магнетронной распылительной системе.
2.4.1. Описание экспериментальной установки.
2.4.2. Описание технологии.
2.4.3. Параметры YBCO пленок, полученных в оптимальных режимах.
2.5. Краткие выводы.
ГЛАВА III.
Исследование особенностей формирования вторичных фаз в тонких пленках YBCO.58
3.1 Вводные замечания.
3.2. Описание экспериментов.
3.3. Исследование свойств и особенностей формирования частиц вторичных фаз в YBCO пленках.
3.3.1. Определение химического состава частиц вторичных фаз и YBCO пленок.
3.3.2. Исследование состояния частиц вторичной фазы СиО (концентрация, размер, форма) в зависимости от условий роста YBCO пленок.
3.3.3. Исследование влияния вицинальности подложки на состояние частиц вторичной фазы СиО.
3.4. Образование областей YBCO пленок с дефицитом меди вокруг частиц вторичной фазы СиО.:.
3.4.1. Результаты исследований YBCO пленок методами зондовой микроскопии.
3.4.2. Обсуждение результатов экспериментов.
3.5. Формирование элементов YBCO пленок, свободных от частиц вторичной фазы СиО.
3.6. Краткие выводы.
ГЛАВА IV.
Исследование влияния структурных и фазовых неоднородностей на электрические свойства тонких пленок YBCO при оптимизации условий осаждения.81
4.1. Вводные замечания.
4.2. Описание экспериментов.—
4.3. Исследование свойств тонких пленок YBCO при оптимизации условий формирования (методы измерений и результаты эксперимента).
4.3.1. Электрические свойства.
4.3.2. Микроструктура.
4.3.3. Катионный состав.
4.4. Анализ влияния структурных и фазовых неоднородностей на электрические свойства YBCO пленок.
4.4.1. Температура сверхпроводящего перехода.
4.4.2. Плотность критического тока.
4.4.3. Поверхностное СВЧ сопротивление.
4.5. Краткие выводы.
ГЛАВА V.
Исследование формирования катионного состава тонких пленок YBCO при магнетронном распылении.102
5.1. Вводные замечания.
5.2. Исследование изменений состава YBCO мишени при ионном распылении.ЮЗ
5.2.1. Описание экспериментов.
5.2.2. Результаты экспериментов и их анализ.
5.2.3. Обсуждение результатов.
5.3. Исследование влияния десорбции с поверхности роста на состав YBCO пленок.
5.3.1. Описание экспериментов.
5.3.2. Измерение параметров плазмы магнетронного разряда с помощью зондов Ленгмюра.
5.3.3. Исследование изменений катионного состава YBCO пленок в зависимости от напряжения смещения на подложке.:.
5.4. Исследование реиспарения бария с поверхности роста.
5.4.1. Описание экспериментов.
5.4.2. Результаты экспериментов и их анализ.
5.5. Краткие выводы.