Исследование субструктурных и ориентационных изменений при термообработке пленок силицидов Pt и Pb Балашова, Вероника Юрьевна

Короткий опис

Балашова, Вероника Юрьевна.Исследование субструктурных и ориентационных изменений при термообработке пленок силицидов Pt и Pb : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07. - Воронеж, 1999. - 121 с.

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Балашова, Вероника Юрьевна
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ПЛЕНКИ СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ НА КРЕМНИИ: МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА (обзор литературы)
1.1. Методы получения пленок силицидов
1.2. Фазовый состав пленок силицидов металлов
1.2.1. Равновесная диаграмма состояния системы
1.2.2. Равновесная диаграмма состояния системы Рс1-81
1.2.3. Кинетика роста и особенности механизмов формирования силицидов металлов
1.2.4. Фазообразование в системе Р1>81
1.2.5. Фазообразование в системе Рд-81
1.2.6. Зависимость фазового состава пленок силицидов платины и палладия от наличия различных газов в рабочей атмосфере
1.3. Зависимость структуры, субструктуры и ориентации пленок силицидов платины и палладия от типа кристаллической решетки силицида, от ориентации поверхности
1.3.1. Кристаллическая структура, микроструктура Р181 и ориентацион-ные соотношения между силицидом платины и подложкой 81
1.3.2. Кристаллическая структура, микроструктура Рё281 и ориентаци-онные соотношения между силицидом палладия и подложкой 81
1.4. Структура межфазной границы в системах Р1:-81 и Рс1-81
1.4.1. Структура межфазной границы в системе Р1-81
1.4.2. Структура межфазной границы в системе Рс1-81
1.5. Процессы структурного и субструктурного старения пленок силицидов
Выводы и постановка задач
ГЛАВА 2. СИНТЕЗ ПЛЕНОК СИЛИЦИДОВ Рг И Рс1. МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЯ ФАЗОВОГО И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА, СТРУКТУРЫ И
СУБСТРУКТУРЫ ПЛЕНОК
2.1. Синтез пленок силицидов Р1 и Рс1
2.1.1. Методика подготовки образцов для изучения процессов рекристаллизации в пленках Р181 и Рс^
2.1.2. Методика подготовки образцов для изучения структуры МГ (111)81-Рг81 и (11 ^ьРс^
2.2. Методика подготовки образцов для электронно-микроскопических исследований
2.3. Анализ фазового состава, структуры и ориентации пленок силицидов РгиЫ
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА ОРИЕНТАЦИЮ И СУБСТРУКТУРУ ПЛЕНОК И Ра281
3.1. Ориентационные и субструктурные изменения при термообработке пленок Р181
3.1.1. Ориентация и субструктура исходных пленок Р181 на (111) 81
3.1.2. Зависимость субструктуры и ориентации пленок Р181 от термообработки
3.2. Субструктурные изменения при термообработке пленок системы Р1 на (111) 81, сформированных методом ИФО
3.2.1. Влияние термообработки на фазовый состав, ориентацию и субструктуру пленок системы Р1>(111)81
3.2.2. Анализ субструктурных изменений на основе концепции РСУ
3.3. Ориентационные и субструктурные изменения при термообработке пленок Рс^
3.3.1. Ориентация и субструктура исходных пленок Рс^
3.3.2. Зависимость субструктуры и ориентации пленок Рс^ от термообработки
3.4. Заключение
ГЛАВА 4. СТРУКТУРА (СУБСТРУКТУРА) МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЫ 81-
СИЛИЦИД МЕТАЛЛА
4.1. Анализ возможных ориентационных соотношений
4.2. Дислокационная структура МГ в системе (11 l)Si-PtSi
4.3. Дислокационная структура МГ в системе (11 l)Si-Pd2Si
4.4. Заключение
ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ